【高斯摩】OHKURA大仓 质量流量计 MF1100B

一、产品概述

二、核心规格

1. 流量量程

   全系列 15 档量程可选：5 SCCM～20 SLM；有效可控区间 2%～100% FS，出厂标配氮气校准，支持氢气、氧气、氩气、氦气、二氧化碳等常规工业气体更换换算系数使用。

2. 测量控制精度

• 基本精度：≤±1.5% FS

• 线性度：≤±0.7% FS

• 重复性：≤±0.2% FS

• 响应速度：3 秒内流量收敛至设定值 ±2% 以内

• 温度稳定性：0.05%/℃，环境温度漂移影响极小

3. 工况压力与密封

   最高工作压力 1.0MPa，耐压 1.5MPa；标准泄漏率≤1.013×10⁻⁹ Pa・m³/s（氦气检测）；压力损失≤5kPa，低阻力不干扰管路供气压力稳定。

4. 材质与安装

   接气部件 SUS316 不锈钢 + 氟橡胶密封；标准 1/4 卡套管路接口，可选 VCR 高洁净接口；安装姿态无限制，任意角度安装误差仅 ±0.5% FS；整机尺寸 130×120×75mm，重量约 680g，机柜密集排布节省空间。

5. 电气信号参数

   供电 DC15V±5%，功耗≤1VA；标准设定输入 0~5V DC，同步输出 0~5V 流量反馈信号；内置软启动功能，开机 / 流量切换平缓升压，避免气流冲击工艺腔体；支持常开 NO / 常闭 NC 阀体型号可选。

6. 使用环境

   气体与环境温度 5～45℃，湿度 10%~90% RH 无凝露；无粉尘、无强腐蚀气体工况长期连续运行。

三、产品优势

1. 测控一体化，单台设备同时完成气体质量流量采集与自动阀门调节，无需额外调节阀，简化气路布局与电控配置。

2. 小型经济型机身，对比高性能 MF5100B 成本更低，中小流量实验、镀膜、烘烤设备批量采购性价比突出，且管路、电源、配套显示器可与 MF5100B 通用，备件统一管理。

3. 超低泄漏高洁净，不锈钢气路适配半导体、光伏、锂电洁净工艺，杜绝微量气体泄漏造成工艺缺陷。

4. 内置软启动保护，气流线性平缓上升，防止瞬间大流量冲击反应腔、镀膜腔体，降低产品报废率。

5. 信号标准化兼容大仓自控体系，0~5V 流量输出可接入 FX5000A 信号转换器、EC1107A 机器控制器、RM 系列记录仪、MD6000 数据系统，完整记录气体流量工艺曲线，满足生产溯源审核要求。

6. 抗环境干扰稳定，温度、压力波动不影响质量流量读数，无需温压补偿附件，减少配套仪表投入。

四、适用行业场景