超大口径高真空闸阀 GR-J400
超大口径高真空闸阀 GR-J400超大口径高真空闸阀 GR-J400产品规格参数公称通径：DN400（适配 JIS/ISO/CF/KF 法兰）驱动方式：手动（标准）/ 气动（可选，0.4–0.6 MPa）压力范围：大气压～10⁻⁶ Pa泄漏率：阀座：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s壳体：≤1×10⁻¹¹ Pa・m³/s阀体材质：SUS304 不锈钢，真空钎焊一体结构密封材质：氟橡胶（FKM），耐温
超大口径高真空闸阀 GR-J400
超大口径高真空闸阀 GR-J400
产品规格参数
公称通径：DN400（适配 JIS/ISO/CF/KF 法兰）
驱动方式：手动（标准）/ 气动（可选，0.4–0.6 MPa）
压力范围：大气压～10⁻⁶ Pa
泄漏率：
阀座：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s
壳体：≤1×10⁻¹¹ Pa・m³/s
阀体材质：SUS304 不锈钢，真空钎焊一体结构
密封材质：氟橡胶（FKM），耐温 150℃，支持烘烤除气
安装方式：任意角度安装
产品结构与核心特性
短型紧凑设计：执行器侧向布置，整机长度短，适合密集管路布局。
超强反压密封：等距压球式密封机构，反向承压能力突出，杜绝反流渗漏。
超低放气腔体：不锈钢真空钎焊，内表面无积气死角，放气量低，适配高真空系统。
可选平稳驱动：手动操作轻便平稳；气动带缓冲，启闭无冲击，保护阀座。
无尘洁净制造：全部组装、测试在 Class 1000 无尘室完成，无颗粒污染，满足半导体级洁净要求。
产品应用范围
GR-J400 用于 DN400 规格的高真空、大流量管路系统，实现通断、隔离、泄压等控制，典型场景包括：
半导体设备：大型 PVD/CVD、刻蚀机主干真空管路隔离。
真空镀膜：超大面积板材、卷绕镀膜机主泵隔离。
工业真空炉：大型热处理炉、钎焊炉真空回路控制。
科研与高端装备：空间环境模拟、加速器、大型真空实验装置。
