高真空气动蝶阀 GH-I80 美幸辉 MIYUKI

高真空气动蝶阀 GH-I80 美幸辉 MIYUKI

高真空气动蝶阀 GH-I80 美幸辉 MIYUKI

规格参数

公称通径：DN80（80A）

法兰标准：ISO 标准法兰（兼容 JIS/CF）

工作压力：常压至10⁻⁶Pa高真空

泄漏率：阀座≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s；壳体≤1×10⁻¹¹Pa・m³/s

驱动方式：气动（0.4–0.6MPa 工业压缩空气）

材质：阀体 / 介质接触部 SUS304 不锈钢；密封件氟橡胶 O 型圈

尺寸 / 重量：紧凑轻量化设计，适配狭小安装空间

结构与运行特性

双级气动执行器：小体积大推力，闭阀密封力加倍，行程末端气垫缓冲，降噪减磨损。

直通式流道：I 型结构流阻低，无积气死角，内表面真空轧制处理，释气量极低。

分布式密封：阀座球压均匀，反压工况密封稳定，耐受压力波动。

全封闭活动构件：运行无尘无污染，适配半导体、镀膜等高洁净环境。

生产工艺与品质把控

精密数控加工，尺寸精度高，阀体结构稳固，长期运行不变形。

装配 / 调试 / 检测均在高等级无尘室完成，严格控制微颗粒。

出厂全检：密封、耐久、反压及开度校准，性能稳定达标。