高真空气动闸阀 G‑C100 美幸辉 MIYUKI 大口径密封阀

高真空气动闸阀 G‑C100 美幸辉 MIYUKI 大口径密封阀

高真空气动闸阀 G‑C100 美幸辉 MIYUKI 大口径密封阀

规格参数

通径：DN100（CF100 刀口法兰）

驱动方式：气动（压缩空气）

压力范围：大气压～1×10⁻⁶Pa（高真空）

泄漏率：内漏≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s；外漏≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s

阀体材质：SUS304 不锈钢（真空钎焊）

密封件：标配 FKM 氟橡胶，可选 Kalrez 全氟醚

耐温：-30℃～150℃（适配腔体烘烤除气）

操作特性：全行程平稳，气动缓冲降噪，关闭推力倍增

安装：任意角度安装，结构紧凑

结构与密封设计

短型大推力气动执行器：布局优化，阀体长度缩短，适配狭小空间；气缸带推力倍增 + 气动缓冲，关闭推力大、冲击小。

压球式密封机构：阀座周向等分布钢球，闭阀时均匀压紧密封面，反压密封可靠，长期使用无偏移。

无死腔阀体：不锈钢板真空钎焊，内壁光滑无拼接缝，低释气、低残留，适合超高真空长期运行。

洁净运动设计：无外露金属滑动件，运行不产微颗粒，保护腔体洁净度。

生产工艺与品质管控

精密制造：阀体五轴加工，尺寸公差 ±0.01mm，结构强度高、抗形变。

洁净组装：Class 1000 高洁净车间完成装配、调试与检测，严控颗粒物。

严苛测试：每台通过氦质谱检漏、启闭耐久、反压密封验证，确保泄漏率与稳定性达标。

模块化设计：零部件标准化，维护便捷，降低运维成本。