大口径高真空电动蝶阀 G-I320 美幸辉 MIYUKI 精密控流阀

大口径高真空电动蝶阀 G-I320 美幸辉 MIYUKI 精密控流阀

大口径高真空电动蝶阀 G-I320 美幸辉 MIYUKI 精密控流阀

美幸辉 MIYUKI G-I320 是面向超高真空大流量工况开发的旗舰级电动蝶阀，属于精密真空控制系列，专为 DN320 超大通径管路设计，兼顾极限流通能力与微米级调节精度。产品采用驱动 - 阀体一体化集成架构，结构紧凑稳固，可适应大型设备复杂管线布局。内部搭载高分辨率编码定位组件，配合机械自锁结构，长期运行无阀位漂移，流量输出稳定均匀。断电保位机构在供电中断时立即锁止阀位，防止真空腔体压力骤变，保障制程连续性与安全性。阀体经精密抛光处理，内壁光洁度极高，低释气、低发尘，符合半导体、镀膜等高洁净制程要求。

规格参数

美幸辉 MIYUKI G-I320 通径为 DN320，接口采用 ISO 标准法兰，适配主流大型真空管路，安装兼容性强。驱动系统采用直流 24V 伺服直驱，无减速齿轮，传动效率高、定位精准，开度调节分辨率可达 0.1°。压力适用范围覆盖常压至 1×10⁻⁵Pa 超高真空区间，满足多等级真空工艺需求。介质接触部件均采用 SUS304 不锈钢，耐腐蚀、结构强度高；密封件选用 FKM 氟橡胶，适用温度 - 20℃至 150℃，兼容氮气、氩气等惰性气体。内外泄漏率分别≤1×10⁻⁹Pa・m³/s 与≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s，达到行业超高标准。支持任意角度安装，运行噪音低于 50dB，启闭循环寿命长，可长期连续运行。

结构与密封设计

美幸辉 MIYUKI G-I320 针对超大口径流通特性优化结构，伺服直驱消除传动间隙，微开度调节线性优异，流量控制精度大幅提升。阀体一体锻造成型，无拼接缝隙与气体滞留死角，从源头减少气体析出与残留。阀座采用柔性双向密封设计，正向、反向压力下均能紧密贴合，密封持久可靠，可承受正负压力波动。运动部件采用无摩擦优化设计，无外露金属滑动件，运行不产生微颗粒，保护管路洁净环境。阀杆密封采用多重迷宫 + 氟橡胶组合，杜绝泄漏，适配超高真空长期运行场景。

生产工艺与品质管控

美幸辉 MIYUKI G-I320 全程在 Class 1000 高洁净车间内完成组装、调试与检测，严控颗粒物污染，符合高端洁净制程规范。核心零部件采用五轴加工中心精密制造，尺寸公差控制在 ±0.01mm 内，阀体结构强度高，抗形变能力强。每台成品均通过严格测试，包括氦质谱检漏、开度精度校准、启闭耐久测试、断电保位验证等，确保性能达标。整机采用模块化设计，零部件标准化程度高，通用性强，后期维护检修便捷，降低系统运维成本，为大型真空系统提供可靠保障。