MIYUKI 美幸辉 G‑I100 精密电动真空蝶阀 DN100 高洁净数字控流门阀

MIYUKI 美幸辉 G‑I100 精密电动真空蝶阀 DN100 高洁净数字控流门阀

MIYUKI 美幸辉 G‑I100 精密电动真空蝶阀 DN100 高洁净数字控流门阀

核心特点

DN100 大口径，通流能力强，适配大腔体高流量稳压 / 泄压。

伺服直驱无齿轮，零回程间隙，小开度流量线性精准；100 档机械自锁，阀位不漂移。

断电电磁抱闸保位，防腔体突破空、工件氧化；绝对值编码器，重启自动记忆原点。

无尘低发尘结构，任意角度安装，启闭静音；阀体镜面抛光，低释气、高洁净。

品牌与定位

G‑I100（GAZ‑I100）属 MIYUKI GAZ 系列数字定点电动真空蝶阀，面向DN100 中等偏大口径真空系统，主打固定工艺分段缓破空与精密控压。

对比：GAZ‑I100为档位定点（配 MS‑PC）；GAR‑I100为 0–10V 模拟连续调节（配 MS‑VP）。

规格参数

公称通径：DN100（100A）

法兰标准：ISO（可定制 CF/JIS）

驱动：伺服直驱 DC24V

控制：00–99 档数字定点，机械自锁

压力范围：10⁻⁵ Pa ~ 10⁵ Pa（高真空～正压）

泄漏率：阀座≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s；轴封≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s

材质：介质接触部SUS304；密封FKM 氟橡胶（‑30～+150℃）

安装：立式 / 卧式 / 侧向全角度自由安装

寿命：≥100 万次；噪音≤50dB

结构与密封

无齿轮直驱，消除背隙，小开度线性好、重复精度高。

弹性夹紧密封，双向承压可靠，耐受正压冲击。

阀体一体成型、镜面精抛（Ra≤0.8μm），内腔无死角、低放气。

波纹管 + O 型圈双重轴封，杜绝泄漏、低颗粒污染。

工艺与品质

Class 1000 无尘室组装、调试与氦质谱检漏。

核心部件CNC 高精度加工，真空钎焊增强结构强度。

全检：漏率、开度精度、密封耐久、断电保位，性能稳定。

模块化设计，免维护、备件通用，降低停机成本。