MIYUKI美幸辉

MIYUKI 美幸辉 G‑I80 精密电动真空蝶阀 高洁净智能控流门阀

MIYUKI 美幸辉 G‑I80 精密电动真空蝶阀 高洁净智能控流门阀MIYUKI 美幸辉 G‑I80 精密电动真空蝶阀 高洁净智能控流门阀MIYUKI 美幸辉 G‑I80(GAZ‑I80)为 DN80 中等口径精密真空蝶阀,伺服电机直驱无齿轮背隙,全行程100 档机械锁定,开度稳定无漂移。断电电磁抱闸保持阀位,防止腔体骤破空导致膜层氧化报废。低发尘无尘结构,任意角度安装、启闭静音,适配高洁净制程

MIYUKI 美幸辉 G‑I80 精密电动真空蝶阀 高洁净智能控流门阀

MIYUKI 美幸辉 G‑I80 精密电动真空蝶阀 高洁净智能控流门阀




MIYUKI 美幸辉 G‑I80(GAZ‑I80)为 DN80 中等口径精密真空蝶阀,伺服电机直驱无齿轮背隙,全行程100 档机械锁定,开度稳定无漂移。断电电磁抱闸保持阀位,防止腔体骤破空导致膜层氧化报废。低发尘无尘结构,任意角度安装、启闭静音,适配高洁净制程。

品牌型号与产品特性

G‑I80 属于 MIYUKI GAZ 系列数字定点电动真空蝶阀,专为中等口径真空系统设计。阀体采用SUS304 不锈钢,内壁镜面精抛,释气率低;密封件为氟橡胶 FKM,耐温‑30~+150℃,适配高真空至正压(10⁻⁵~10⁵ Pa)工况。直驱电机内置绝对值编码器,断电重启自动记忆原点,无需现场校零。



规格参数

公称通径:DN80(80A)

法兰标准:ISO(可适配 CF/JIS)

驱动方式:伺服直驱(DC24V)

控制模式:00~99 档定点控流(配套 MS‑PC 控制器)

压力范围:10⁻⁵ Pa ~ 10⁵ Pa(高真空~正压)

泄漏率:内部≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s;轴封≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

材质:介质接触部 SUS304;密封 FKM 氟橡胶

安装方式:立式 / 卧式 / 侧向全角度自由安装

启闭寿命:≥100 万次;运行噪音≤50dB


结构与密封设计

采用无齿轮直驱结构,消除回程间隙,小开度流量线性精准。阀板密封面采用弹性夹紧结构,双向承压密封可靠,可承受正压冲击。阀体一体成型,无焊接死角,内腔光滑低放气;轴封采用波纹管 + O 型圈双重密封,杜绝泄漏。


生产工艺与品质管控

全程Class 1000 无尘室组装、调试与氦质谱检漏,严控颗粒物污染。核心部件CNC 高精度加工,阀体镜面抛光达 Ra≤0.8μm。每台成品通过漏率、开度精度、密封耐久、断电保位等全项测试,确保性能稳定。模块化设计,零部件标准化,免维护、寿命长。


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