EBARA荏原 涡轮分子泵 EBT800F

涡轮分子泵优点

高真空性能：涡轮分子泵能够实现超高真空（10^-10 Pa级别），满足高精度工艺和科学实验的需求。

无油污染：由于无需油液润滑，涡轮分子泵特别适合对洁净度要求极高的行业，如半导体和光学镀膜。

高效抽气：对轻质气体和中质气体具有较高的抽气速度，能够快速建立并维持真空环境。

长寿命和低维护：涡轮分子泵的结构设计精密，运行稳定，维护成本低，使用寿命长。

环保节能：无油运行减少了油类废弃物的产生，符合环保要求；同时，现代涡轮分子泵采用高效电机和变频控制技术，进一步降低了能耗。

适应性强：能够处理多种气体，包括腐蚀性气体和易凝结气体，适用范围广泛。

涡轮分子泵是一种高真空泵，利用高速旋转的涡轮叶片与气体分子碰撞，将气体分子从进气口推向排气口，从而实现高真空的获取。它由德国物理学家贝克（W. Becker）于1958年发明，是现代高真空和超高真空技术中的核心设备之一。涡轮分子泵通常与前置泵（如干式泵或旋片泵）结合使用，以在宽压力范围内实现高效抽气。