EBARA荏原 涡轮分子泵 EMT2200MK

涡轮分子泵特点

高转速：涡轮分子泵的转子转速通常高达每分钟数万转，甚至超过10万转，以确保气体分子能够被有效捕捉和排出。

无油污染：与油封式真空泵不同，涡轮分子泵在运行过程中无需油液润滑，避免了油蒸气对真空环境的污染，特别适合高洁净度要求的应用。

宽压力范围：涡轮分子泵能够在高真空（10^-3 Pa至10^-10 Pa）范围内高效工作，与前置泵配合可实现从大气压到超高真空的抽气。

涡轮分子泵优点

高真空性能：涡轮分子泵能够实现超高真空（10^-10 Pa级别），满足高精度工艺和科学实验的需求。

无油污染：由于无需油液润滑，涡轮分子泵特别适合对洁净度要求极高的行业，如半导体和光学镀膜。

高效抽气：对轻质气体和中质气体具有较高的抽气速度，能够快速建立并维持真空环境。

长寿命和低维护：涡轮分子泵的结构设计精密，运行稳定，维护成本低，使用寿命长。

环保节能：无油运行减少了油类废弃物的产生，符合环保要求；同时，现代涡轮分子泵采用高效电机和变频控制技术，进一步降低了能耗。

适应性强：能够处理多种气体，包括腐蚀性气体和易凝结气体，适用范围广泛。