EBARA荏原 干式真空泵 EV-S200

干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是一种在抽气过程中无需使用油或其他液体作为工作介质的真空泵。与传统的油封式真空泵相比，干式真空泵具有无油污染、维护简单、环保性能优越等特点，因此在半导体制造、制药、化工、食品加工等高洁净度要求的行业中得到了广泛应用。

应用领域

半导体制造：在半导体生产过程中，干式真空泵用于晶圆加工、薄膜沉积、蚀刻等工艺，确保高洁净度的真空环境。

制药行业：用于药品干燥、蒸馏和包装等环节，避免油污染对药品质量的影响。

化工行业：适用于腐蚀性气体或易凝结气体的抽除，满足化工生产中的特殊需求。

食品加工：在食品包装和脱气过程中，干式真空泵确保食品的安全和卫生。

科研领域：用于实验室的高真空实验，提供无污染的真空环境。

干式真空泵通过机械运动直接抽除气体，无需液体密封或润滑。其工作原理主要依赖于转子、叶片或螺杆等机械结构的运动，将气体从进气口吸入并压缩，最终从排气口排出。常见的干式真空泵类型包括螺杆式、爪式、旋片式和涡旋式等。