【高斯摩】IWAKI易威奇 化学品加注泵 CFD-8T-B
【高斯摩】IWAKI易威奇 化学品加注泵 CFD-8T-B【高斯摩】IWAKI易威奇 化学品加注泵 CFD-8T-B化学品加注泵 CFD用于补充半导体工艺中的强酸和强碱CFD 的特点用于晶圆清洗液的浓度控制准确注入所需的最小量化学溶液，精度极高。 它是控制晶圆清洗液浓度的理想选择。 它抑制了浓度超调，有助于降低清洁溶液的成本。优异的耐腐蚀性所有接液部件均由含氟聚合物（PTFE、PFA、PCTFE）
【高斯摩】IWAKI易威奇 化学品加注泵 CFD-8T-B
【高斯摩】IWAKI易威奇 化学品加注泵 CFD-8T-B
化学品加注泵 CFD
用于补充半导体工艺中的强酸和强碱
CFD 的特点
用于晶圆清洗液的浓度控制
准确注入所需的最小量化学溶液，精度极高。 它是控制晶圆清洗液浓度的理想选择。 它抑制了浓度超调，有助于降低清洁溶液的成本。
优异的耐腐蚀性
所有接液部件均由含氟聚合物（PTFE、PFA、PCTFE）组成，并与强酸、强碱和过氧化氢溶液等化学溶液兼容。
泵的外部由树脂和涂层螺栓制成。
安全设计
由压缩空气提供动力的安全气动波纹管泵。
防虹吸机构可防止化学液体流出。
CFD-1T-B 标配一个泄漏传感器，用于检测波纹管破损。
吞吐量范围广
灵活的设置涵盖广泛的放电速率。
在工厂，CFD-1T-B：1 mL/次，CFD-8T-B：8 mL/次。
| 型 | CFD-1T-B 系列 | CFD-8T-B 系列 |
|---|---|---|
| 最大放电率 | 1mL/次*1 | 8mL/次*2 |
| 供气压力 | 0.15~0.3MPa | |
| 最大空气消耗量 | 2.5NL/分钟 | 5.4NL/分钟 |
| 最大笔画数 | 30 平方米 | |
| 主要材料 | 聚四氟乙烯、PFA、PCTFE | |
| 液体温度范围 | 20〜60°C | |
气动波纹管泵
超洁净规格，在半导体制造工艺方面拥有丰富的经验。
独特开发的波纹管使用寿命长，有助于减少停机时间。
专为半导体制造工艺设计的气动波纹管泵。 自成立以来的 30 多年里，IWAKI 始终响应市场需求并积极开发新产品。 这些产品的质量和性能受到世界各地设备和晶圆制造商的高度评价。
除了泵之外，控制器和阻尼器以及化学品补充泵系统等外围设备也进行了标准化。 凭借更广泛的产品阵容，我们可以处理广泛的应用，包括湿式清洗工艺、化学品供应设备和 CMP 工艺。
气动波纹管泵的特点
波纹管设计独特，使用寿命长
含氟聚合物的无污染设计，对所有接液部件具有出色的耐化学性和耐热性
泵头和波纹管采用一体式焊接结构，无需担心液体泄漏。
主要应用
向清洗设备供应化学品 晶圆清洗液的循环 CMP 浆料溶液的供应