【高斯摩】IWAKI易威奇 气动波纹管泵 FA-40VEW

【高斯摩】IWAKI易威奇 气动波纹管泵 FA-40VEW

【高斯摩】IWAKI易威奇 气动波纹管泵 FA-40VEW

气动波纹管泵 FA 系列

用于晶圆清洁的气动波纹管泵

FA 系列的特点

用于中温液体循环

标准化了水平型、低流量的 FA-2 型和大流量的立式 FA-40VEW 型。 FA-2 型号适用于喷雾式单晶圆加工，FA-40VEW 型号适用于清洗 200/300mm 晶圆。

长寿命设计

FA-40VEW 型号使用厚壁波纹管。 它具有出色的耐压性和长寿命设计，可承受长时间连续运行。

接近开关方法

传感器驱动系统用于切换电磁阀，泵中内置了接近开关。 它还标配了一个泄漏传感器。

易于使用

通过连接专用控制器，可以轻松控制和管理吐出量。

气动波纹管泵（Pneumatic Bellows Pump）是一种利用压缩空气驱动波纹管往复运动来实现流体输送的容积式泵。其核心部件是可伸缩的波纹管（通常由橡胶、氟塑料或金属制成），在气压作用下膨胀和收缩，形成吸入和排出动作，从而实现液体的精确输送。

该泵结合了气动驱动和容积式输送的优点，适用于高精度计量、腐蚀性介质或高纯度流体的输送。由于采用气动驱动，无需电力，特别适合防爆、易燃易爆或潮湿环境。

主要组成部分：

波纹管：核心输送部件，决定耐腐蚀性和使用寿命。

气动驱动系统：通过压缩空气控制波纹管的往复运动。

阀组：包括进口阀和出口阀，确保单向流动。

外壳：保护内部结构，部分型号可定制材质（如PP、PVDF、不锈钢等）。