【高斯摩】IWAKI易威奇 气动波纹管泵 FA-40
【高斯摩】IWAKI易威奇 气动波纹管泵 FA-40【高斯摩】IWAKI易威奇 气动波纹管泵 FA-40气动波纹管泵超洁净规格，在半导体制造工艺方面拥有丰富的经验。独特开发的波纹管使用寿命长，有助于减少停机时间。专为半导体制造工艺设计的气动波纹管泵。 自成立以来的 30 多年里，IWAKI 始终响应市场需求并积极开发新产品。 这些产品的质量和性能受到世界各地设备和晶圆制造商的高度评价。除了泵之外，
【高斯摩】IWAKI易威奇 气动波纹管泵 FA-40
【高斯摩】IWAKI易威奇 气动波纹管泵 FA-40
气动波纹管泵
超洁净规格，在半导体制造工艺方面拥有丰富的经验。
独特开发的波纹管使用寿命长，有助于减少停机时间。
专为半导体制造工艺设计的气动波纹管泵。 自成立以来的 30 多年里，IWAKI 始终响应市场需求并积极开发新产品。 这些产品的质量和性能受到世界各地设备和晶圆制造商的高度评价。
除了泵之外，控制器和阻尼器以及化学品补充泵系统等外围设备也进行了标准化。 凭借更广泛的产品阵容，我们可以处理广泛的应用，包括湿式清洗工艺、化学品供应设备和 CMP 工艺。
气动波纹管泵的特点
波纹管设计独特，使用寿命长
含氟聚合物的无污染设计，对所有接液部件具有出色的耐化学性和耐热性
泵头和波纹管采用一体式焊接结构，无需担心液体泄漏。
主要应用
向清洗设备供应化学品 晶圆清洗液的循环 CMP 浆料溶液的供应
| 型 | FA-2 系列 | 法 40 |
|---|---|---|
| 最大吐出量 | 2升/分钟 | 40升/分钟 |
| 供气压力范围 | 0.2〜0.4MPa | 0.1〜0.4MPa |
| 最大空气消耗量 | 50NL/分钟 | 200 NL/分钟 |
| 最大笔画数 | 150 平方米 | 80 平方米 |
| 主要材料 | 聚四氟乙烯、PFA | |
| 液体温度范围 | 5〜100°C | |
气动波纹管泵 FA 系列
用于晶圆清洁的气动波纹管泵
FA 系列的特点
用于中温液体循环
标准化了水平型、低流量的 FA-2 型和大流量的立式 FA-40VEW 型。 FA-2 型号适用于喷雾式单晶圆加工，FA-40VEW 型号适用于清洗 200/300mm 晶圆。
长寿命设计
FA-40VEW 型号使用厚壁波纹管。 它具有出色的耐压性和长寿命设计，可承受长时间连续运行。
接近开关方法
传感器驱动系统用于切换电磁阀，泵中内置了接近开关。 它还标配了一个泄漏传感器。
易于使用
通过连接专用控制器，可以轻松控制和管理吐出量。