【高斯摩】IWAKI易威奇 气动波纹管泵 FF-H

【高斯摩】IWAKI易威奇 气动波纹管泵 FF-H

【高斯摩】IWAKI易威奇 气动波纹管泵 FF-H

气动波纹管泵

超洁净规格，在半导体制造工艺方面拥有丰富的经验。

独特开发的波纹管使用寿命长，有助于减少停机时间。

专为半导体制造工艺设计的气动波纹管泵。 自成立以来的 30 多年里，IWAKI 始终响应市场需求并积极开发新产品。 这些产品的质量和性能受到世界各地设备和晶圆制造商的高度评价。

除了泵之外，控制器和阻尼器以及化学品补充泵系统等外围设备也进行了标准化。 凭借更广泛的产品阵容，我们可以处理广泛的应用，包括湿式清洗工艺、化学品供应设备和 CMP 工艺。

气动波纹管泵的特点

波纹管设计独特，使用寿命长

含氟聚合物的无污染设计，对所有接液部件具有出色的耐化学性和耐热性

泵头和波纹管采用一体式焊接结构，无需担心液体泄漏。

主要应用

向清洗设备供应化学品 晶圆清洗液的循环 CMP 浆料溶液的供应

气动波纹管泵 FF/FF-H 系列

节能设计，空气消耗量低

FF/FF-H 系列的特点

中温型和高温型

FF系列可处理从室温到高温（20°C至180°C）的中温规格（PVC圆筒型：5至50°C，铝圆筒型：5至100°C）的各种化学品，FF-H系列可以处理从室温到高温（20至180°C）的各种化学溶液。

无污染

所有接液部件均由含氟聚合物制成。 泵的外周也涂有含氟聚合物，使其成为不使用橡胶或金属的无污染设计。 此外，FF-H 系列的主体和波纹管是全焊接的，因此不会因热循环而泄漏。

节能设计

尽可能减少气室的死体积，以减少空气消耗。

易于使用

通过连接专用控制器，可以轻松控制和管理吐出量。

接近开关方法

内置泵的接近开关采用传感器驱动方式，可切换电磁阀。 它还标配了一个泄漏传感器。