【高斯摩】IWAKI易威奇 气动波纹管泵 FW-H

【高斯摩】IWAKI易威奇 气动波纹管泵 FW-H

【高斯摩】IWAKI易威奇 气动波纹管泵 FW-H

气动波纹管泵

超洁净规格，在半导体制造工艺方面拥有丰富的经验。

独特开发的波纹管使用寿命长，有助于减少停机时间。

专为半导体制造工艺设计的气动波纹管泵。 自成立以来的 30 多年里，IWAKI 始终响应市场需求并积极开发新产品。 这些产品的质量和性能受到世界各地设备和晶圆制造商的高度评价。

除了泵之外，控制器和阻尼器以及化学品补充泵系统等外围设备也进行了标准化。 凭借更广泛的产品阵容，我们可以处理广泛的应用，包括湿式清洗工艺、化学品供应设备和 CMP 工艺。

气动波纹管泵的特点

波纹管设计独特，使用寿命长

含氟聚合物的无污染设计，对所有接液部件具有出色的耐化学性和耐热性

泵头和波纹管采用一体式焊接结构，无需担心液体泄漏。

主要应用

向清洗设备供应化学品 晶圆清洗液的循环 CMP 浆料溶液的供应

气动波纹管泵 FW/FW-H 系列

最大带有厚波纹管。 可进行 0.45 MPa 的高压吐出。

FW/FW-H 系列的特点

压力高，使用寿命长

麦克斯。 可进行 0.45 MPa 的高压吐出。 此外，波纹管的寿命是隔膜式的 3 至 4 倍。 可以显著减少停机时间。

备有中高温型和高温型。

高压、中温（10 至 100°C）规格的 FW 系列可用于化学品供应以及清洗设备和 CMP 浆液的循环，高压、高温（10 至 180°C）规格的 FW-H 系列可用作清洗设备循环的泵。

无污染

所有接液部件均由含氟聚合物制成。 泵的外圆周也涂有含氟聚合物，以确保没有金属暴露。 产生的颗粒更少，可以使用市售的配件。

接近开关方法

传感器驱动系统用于切换电磁阀，泵中内置了接近开关。 它还标配了一个泄漏传感器。

易于使用

通过连接专用控制器，可以轻松控制和管理吐出量。

Nanolink 系统

气动波纹管泵 FW 与“Nanolink System”兼容，便于管道连接

新型化学管道连接技术

Nano Link 系统（通常称为 Nano Link）是一种简单的化学管道，只需将密封圈和夹子夹在中间即可。 只有三个基本部分：密封圈、nanolink 主体和夹具。 它有助于实现前所未有的安全性和空间节省。

连接简单：只需夹紧密封

安全性：通过纳米链接结构实现稳定的密封性能

尺寸： 英寸和毫米很常见

节省空间：由于直接连接，显著减少了管材的使用量

兼容型号：FS-15/30/60/80、FW-20/40/80、PDA-20/40/80WB