【高斯摩】IWAKI易威奇 气动波纹管泵 FS-H
【高斯摩】IWAKI易威奇 气动波纹管泵 FS-H【高斯摩】IWAKI易威奇 气动波纹管泵 FS-H气动波纹管泵 FS-H 系列高速行程，体积小、重量轻、成本低FS-H 系列的特点紧凑、轻量、低成本更快的泵冲程（最大 240 spm*），以实现紧凑、轻量化和低成本。注： 笔画数因型号而异。无污染设计所有接液部件均由含氟聚合物制成。 泵的外圆周也涂有含氟聚合物，以确保没有金属暴露。 此外，使用我们专
【高斯摩】IWAKI易威奇 气动波纹管泵 FS-H
【高斯摩】IWAKI易威奇 气动波纹管泵 FS-H
气动波纹管泵 FS-H 系列
高速行程，体积小、重量轻、成本低
FS-H 系列的特点
紧凑、轻量、低成本
更快的泵冲程（最大 240 spm*），以实现紧凑、轻量化和低成本。
注： 笔画数因型号而异。
无污染设计
所有接液部件均由含氟聚合物制成。 泵的外圆周也涂有含氟聚合物，以确保没有金属暴露。 此外，使用我们专有的轴封进一步减少了颗粒的产生。
液体温度范围宽，高压排放
处理液体的液体温度范围为 5 至 180°C，排放压力为 Max。 最高 0.45 MPa。 它不仅可以用于清洁和 CMP 工艺，还可以用于化学工艺。
接近开关方法
采用传感器驱动方式，通过泵内置的接近开关来切换电磁阀。 它还标配了一个泄漏传感器。
易于使用
通过连接专用控制器，可以轻松控制和管理吐出量。
Nanolink 系统
气动波纹管泵 FS 与“Nanolink 系统”兼容，便于管道连接
新型化学管道连接技术
Nano Link 系统（通常称为 Nano Link）是一种简单的化学管道，只需将密封圈和夹子夹在中间即可。 只有三个基本部分：密封圈、nanolink 主体和夹具。 它有助于实现前所未有的安全性和空间节省。
连接简单：只需夹紧密封
安全性：通过纳米链接结构实现稳定的密封性能
尺寸： 英寸和毫米很常见
节省空间：由于直接连接，显著减少了管材的使用量
兼容型号：FS-15/30/60/80、FW-20/40/80、PDA-20/40/80WB
| 最大放电率 | 55升/分钟 |
| 供气压力范围 | 0.15〜0.5MPa |
| 最大空气消耗量 | 670NL/分钟 |
| 最大泵冲程数注 | 240 平方米 |
| 主要材料 | 聚四氟乙烯、PFA |
| 液体温度范围 | 5〜180°C |
气动波纹管泵
超洁净规格，在半导体制造工艺方面拥有丰富的经验。
独特开发的波纹管使用寿命长，有助于减少停机时间。
专为半导体制造工艺设计的气动波纹管泵。 自成立以来的 30 多年里，IWAKI 始终响应市场需求并积极开发新产品。 这些产品的质量和性能受到世界各地设备和晶圆制造商的高度评价。
除了泵之外，控制器和阻尼器以及化学品补充泵系统等外围设备也进行了标准化。 凭借更广泛的产品阵容，我们可以处理广泛的应用，包括湿式清洗工艺、化学品供应设备和 CMP 工艺。
气动波纹管泵的特点
波纹管设计独特，使用寿命长
含氟聚合物的无污染设计，对所有接液部件具有出色的耐化学性和耐热性
泵头和波纹管采用一体式焊接结构，无需担心液体泄漏。
主要应用
向清洗设备供应化学品 晶圆清洗液的循环 CMP 浆料溶液的供应