【高斯摩】IWAKI易威奇 气动波纹管泵 FS-100HT2
【高斯摩】IWAKI易威奇 气动波纹管泵 FS-100HT2【高斯摩】IWAKI易威奇 气动波纹管泵 FS-100HT2气动波纹管泵 FS-100HT2兼容需要高温输送的化学品，如 CARO （SPM） 和H3PO4最高 180°C，最大流量 100 L/minFS-100HT2 的特点高温、高流量输送最高可输送 180°C，最大流量为 100 L/min。 对于需要高温输送的化学液体，如 CAR
【高斯摩】IWAKI易威奇 气动波纹管泵 FS-100HT2
【高斯摩】IWAKI易威奇 气动波纹管泵 FS-100HT2
气动波纹管泵 FS-100HT2
兼容需要高温输送的化学品，如 CARO （SPM） 和H3PO4最高 180°C
，最大流量 100 L/min
FS-100HT2 的特点
高温、高流量输送
最高可输送 180°C，最大流量为 100 L/min。 对于需要高温输送的化学液体，如 CARO （SPM） 和H3PO4，与我们的传统产品相比，预计循环流速（55 L/min→100 L/min）将提高约 1.8 倍。
提高清洁效率
改进的循环流速提高了去除晶圆表面颗粒、金属污染物和有机污染物的效率，并减少了由于电路图案的小型化而增加的清洁时间。
无污染
所有接液部件均由含氟聚合物制成。 泵的外圆周也涂有含氟聚合物，以确保没有金属暴露。 它能够转移半导体应用中使用的化学品，例如酸、碱和超级水。
通过减轻重量减轻工人的负担
通过优化部件的形状，与传统产品（80 至 100 L/min 级）的重量相比，我们的重量减轻了约 15%。 它可以减轻工人在安装和更换泵时的负担。
接近开关方法
传感器驱动系统用于切换电磁阀，泵中内置了接近开关。 它还标配了一个泄漏传感器。
易于使用
通过连接专用控制器，可以轻松控制和管理吐出量。
原理图规格
| 最大放电率 | 100升/分钟 |
|---|---|
| 供气压力范围 | 0.15〜0.5MPa |
| 最大空气消耗量 | 1210NL/分钟 |
| 最大笔画数 | 120 平方米 |
| 主要材料 | 聚四氟乙烯、PFA |
| 液体温度范围 | 10〜180°C |
气动波纹管泵
超洁净规格，在半导体制造工艺方面拥有丰富的经验。
独特开发的波纹管使用寿命长，有助于减少停机时间。
专为半导体制造工艺设计的气动波纹管泵。 自成立以来的 30 多年里，IWAKI 始终响应市场需求并积极开发新产品。 这些产品的质量和性能受到世界各地设备和晶圆制造商的高度评价。
除了泵之外，控制器和阻尼器以及化学品补充泵系统等外围设备也进行了标准化。 凭借更广泛的产品阵容，我们可以处理广泛的应用，包括湿式清洗工艺、化学品供应设备和 CMP 工艺。
气动波纹管泵的特点
波纹管设计独特，使用寿命长
含氟聚合物的无污染设计，对所有接液部件具有出色的耐化学性和耐热性
泵头和波纹管采用一体式焊接结构，无需担心液体泄漏。
主要应用
向清洗设备供应化学品 晶圆清洗液的循环 CMP 浆料溶液的供应