【高斯摩】IWAKI易威奇 气动波纹管泵 FS-80NT

【高斯摩】IWAKI易威奇 气动波纹管泵 FS-80NT

【高斯摩】IWAKI易威奇 气动波纹管泵 FS-80NT

气动波纹管泵 FS-N 系列

最大 100L/min 用于化学品供应的高流量型号

FS-N 系列的特点

高流量/高压排放

它非常适合需要高压（0.6 MPa 或更高）和高流量排放的化学品供应工艺。

• 型号 FS-80NT：最大 80L/min、FS-100NF：最大 100升/分钟

紧凑、轻量、低成本

高速行程 （Max. 200 spm：FS-80NT 型）实现小型化、轻量化和低成本。

无污染设计

所有接液部件均由含氟聚合物制成。 泵的外圆周也涂有含氟聚合物，以确保没有金属暴露。 此外，使用本公司专有的轴封（FS-80NT 型）进一步减少了颗粒的产生。

接近开关方法

传感器驱动系统用于切换电磁阀，泵中内置了接近开关。 它还标配了泄漏传感器

焊接一体化结构

泵头和波纹管采用一体式焊接结构，无需担心液体泄漏。

气动波纹管泵

超洁净规格，在半导体制造工艺方面拥有丰富的经验。

独特开发的波纹管使用寿命长，有助于减少停机时间。

专为半导体制造工艺设计的气动波纹管泵。 自成立以来的 30 多年里，IWAKI 始终响应市场需求并积极开发新产品。 这些产品的质量和性能受到世界各地设备和晶圆制造商的高度评价。

除了泵之外，控制器和阻尼器以及化学品补充泵系统等外围设备也进行了标准化。 凭借更广泛的产品阵容，我们可以处理广泛的应用，包括湿式清洗工艺、化学品供应设备和 CMP 工艺。

气动波纹管泵的特点

波纹管设计独特，使用寿命长

含氟聚合物的无污染设计，对所有接液部件具有出色的耐化学性和耐热性

泵头和波纹管采用一体式焊接结构，无需担心液体泄漏。

主要应用

向清洗设备供应化学品 晶圆清洗液的循环 CMP 浆料溶液的供应