【高斯摩】IWAKI易威奇 气动波纹管泵 FLP-60W

【高斯摩】IWAKI易威奇 气动波纹管泵 FLP-60W

【高斯摩】IWAKI易威奇 气动波纹管泵 FLP-60W

空气驱动型低脉动波纹管泵 FLP 系列

无需阻尼器即可实现低脉动，有助于降低总成本

FLP 系列的特点

低脉动

独特的驱动机构控制波纹管的运动到最佳阶段，以抵消泵的脉动。 实现了极低脉动的运行

无需阻尼器，节省空间

无需安装阻尼器，这有助于设备的小型化和系统的简化。 配管作业也很容易，可以减少含氟聚合物接头等昂贵的配管材料。

减少空气消耗

与传统类型相比，空气消耗量最多可减少 30%（与我们以前的型号相比）。 即使降低供气压力，也可以获得与传统类型相同的性能。

出色的负载跟踪

相位控制提高了负载波动期间的跟踪性能。 特别是在单晶片工艺等压力波动频繁的生产线中，其高负载跟踪性能使吐出量和吐出压力能够稳定运行。

气动波纹管泵

超洁净规格，在半导体制造工艺方面拥有丰富的经验。

独特开发的波纹管使用寿命长，有助于减少停机时间。

专为半导体制造工艺设计的气动波纹管泵。 自成立以来的 30 多年里，IWAKI 始终响应市场需求并积极开发新产品。 这些产品的质量和性能受到世界各地设备和晶圆制造商的高度评价。

除了泵之外，控制器和阻尼器以及化学品补充泵系统等外围设备也进行了标准化。 凭借更广泛的产品阵容，我们可以处理广泛的应用，包括湿式清洗工艺、化学品供应设备和 CMP 工艺。

气动波纹管泵的特点

波纹管设计独特，使用寿命长

含氟聚合物的无污染设计，对所有接液部件具有出色的耐化学性和耐热性

泵头和波纹管采用一体式焊接结构，无需担心液体泄漏。

主要应用

向清洗设备供应化学品 晶圆清洗液的循环 CMP 浆料溶液的供应