【高斯摩】ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 RDA-501H

【高斯摩】ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 RDA-501H

【高斯摩】ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 RDA-501H

多级罗茨干式真空泵是一种在真空室内不使用油或液体的机械真空泵。

在 FPD、电子和半导体行业等领域，需要更清洁的真空，并且需要真空泵来提高产量和可维护性。 最常见的泵之一是罗茨干式真空泵。

通过在低温范围内平衡泵体的热量，它是 PVD 工艺抽真空的理想泵，尤其是在制备和取出室中，缩短泵送时间以提高吞吐量非常重要。

长处

实现与干式和油动力旋转真空泵相同的性能水平。

它可以在从大气压到到达的所有压力区域运行。

耐水蒸气。

无需冷却水。

一个型号可支持单相和三相电源。

没有滑动部件，使用寿命长。

用法说明

1

吸入粉末、产品可能会损坏泵。

请使用吸尘器。

2

吸入爆炸性、易燃性、有毒、腐蚀性和有机溶剂气体等有害气体可能会因气体本身、爆炸、着火等原因导致泵故障。

3

该泵仅供室内使用。

请勿将产品安装在会暴露在雨中或水中的地方，或安装在室外。