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【高斯摩】ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 HR600

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【高斯摩】ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 HR600【高斯摩】ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 HR600多级罗茨干式真空泵是一种在真空室内不使用油或液体的机械真空泵。在 FPD、电子和半导体行业等领域，需要更清洁的真空，并且需要真空泵来提高产量和可维护性。 最常见的泵之一是罗茨干式真空泵。通过在高温范围内均衡泵体的热量，可以将 CVD、蚀刻等产生的升华废气物质以气态排出。长处可以在气态

【高斯摩】ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 HR600

【高斯摩】ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 HR600

多级罗茨干式真空泵是一种在真空室内不使用油或液体的机械真空泵。

在 FPD、电子和半导体行业等领域，需要更清洁的真空，并且需要真空泵来提高产量和可维护性。 最常见的泵之一是罗茨干式真空泵。

通过在高温范围内均衡泵体的热量，可以将 CVD、蚀刻等产生的升华废气物质以

气态排出。

长处

可以在气态下排放高温区域热均衡

CVD 和蚀刻产生的升华废气排放物。

“Model：UR” 甚至可以高于 “Model：HR”。

由于安装了氦气密封

屏蔽电机，因此具有密封结构，因此非常安全。

瞬时停止：在 1000 毫秒内实施瞬时停止

措施。

优异的耐腐蚀性主要

部件采用特殊的表面处理，以高表面硬度和优异的耐腐蚀性为标准。 减少排空腐蚀性气体时泵内部的腐蚀。

通信功能：

可以读取泵运行状态和警告/警报历史记录数据。 通过使用专用软件和计算机通信，可以进行集中监控。

用

CVD 设备

蚀刻设备

灰化装置

ALD、ALH 等

型HR60HR90HR300 型HR600 型HR1200 型
使用的泵DRPHR60HR90HR60HR90HR90
MPB--PRC-003A 系列PRC-006A 系列PRC-012A 系列
最大
抽速		50 赫兹m3/h
（升/分钟）		62(1030)112(1860)359(5,980)653(10,900)1,012(16,900)
60 赫兹m3/h
（升/分钟）		80(1333)126(2100)365(6,080)701(11,700)1,051(17,500)
极限压力帕50.67　　　　　
最大入口压力
（入口压力）
大气压力 *1
最大排气口压力
（排气压力）		帕1~大气压
进气口 （CE 规格）VG50（KF50） 系列VG80型 （KF50）VG80（KF80） 系列VG100型 （KF100）
排气口肯氟烃40
质量公斤180245275370420
电力三个阶段交流电（Hz）200(50/60), 220(60)
当前值稳态一个7.1
（200V 时）		11.2
（200V 时）		7.8
（200V 时）		12.9
（200V 时）		15.4
（200V 时）
最大值一个7.3
（200V 时）		11.8
（200V 时）		8.1
（200V 时）		13.8
（200V 时）		18.9
（200V 时）
冷却水临时压力兆帕0.1~0.3
冷却水入口/出口压差兆帕>0.1
冷却水流量升/分钟>5.0
吹扫气体一次压力兆帕0.1~0.5
二次压力兆帕0.05~0.1
N2 吹扫轴SLM 系列5
加斯伯勒SLM 系列0~45


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