【高斯摩】ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵 LS120A

【高斯摩】ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵 LS120A

【高斯摩】ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵 LS120A

螺杆式真空泵是一种真空泵，其中泵壳中的螺杆转子将流体引导到网状间隙中并旋转它以沿轴向连续移动流体。

“Model：LS” 是被归类为螺杆式干式真空泵的真空泵。 过去，提高抽速需要消耗大量功率，但通过将专有的螺杆形状与节能技术相结合，这款干式真空泵实现了高速排气和低功耗。 有四种型号的阵容，您可以根据设备的大小、使用条件和用途选择具有最佳泵送能力的泵。

长处

在接近大气压时的抽速可达 80 m3 /h，与传统真空泵相比，抽气时间可缩短约 20%。

标配的专用消音器也解决了干式真空泵固有的噪音问题。 极限压力下的噪音值小于 61 dB（A），即使在运行过程中也不明显。 (*1)

C 规格中标配的 ECO-SHOCK 技术是 ULVAC 专有的节能技术。 极限压力下的功耗可降至 0.6 kW 或更低。 (*2)

“Model：LS” 不需要轴封气体。 在主要排放氮气和空气的清洁工艺中，可以降低运行成本。 (*3)

对于想要进一步提高抽速的用户，我们建议使用机械增压泵。 120~ 通过组合1200 米3/h 是可访问的。

用

C 规格：清洁工艺 （LS***A-C） 特点

：内置 ECO-SHOCK 的低功耗型

应用：用于清洁排气和N2 排气、溅射、气相沉积、粘合、负载锁定室、TMP 辅助等。

L 规格： 轻工艺 （LS***A-L） 特点

： 具有表面处理和吹扫功能的

轻工艺类型 应用： 用于水蒸气和挥发性化学废气等轻工艺、真空干燥、冷冻干燥、灰化、一般工业应用等。