【高斯摩】ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵 MS600A

【高斯摩】ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵 MS600A 

【高斯摩】ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵 MS600A 

螺杆式真空泵是一种真空泵，其中泵壳中的螺杆转子将流体引导到网状间隙中并旋转它以沿轴向连续移动流体。

“Model：MS” 是被归类为螺杆式干式真空泵的真空泵。 这是一种基于传统“Model：LS”的耐过程性干式真空泵，具有更高的耐腐蚀性和粉末排出性。 它设计用于具有腐蚀性气体和粉末排放的真空过程。

长处

通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊表面处理，实现了高耐腐蚀性。

螺旋式转子轴具有 ULVAC 独有的独特设计，可实现高粉末排放。

可在从大气压到极限压力的整个压力范围内连续运行。

用

电子元件和半导体制造设备、

蚀刻设备、灰化设备、等离子清洗设备等的真空排气系统

真空热处理炉、

烧结炉、渗碳炉等的真空排气系统

锂电池制造设备、

电极干燥设备、消泡设备、注液设备等的真空排气系统。

医疗和食品相关设备的真空排气系统、

冷冻干燥设备、真空干燥设备等。