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【高斯摩】ULVAC爱发科 溅射离子泵 GST-07L-B

【高斯摩】ULVAC爱发科 溅射离子泵 GST-07L-B【高斯摩】ULVAC爱发科 溅射离子泵 GST-07L-B溅射离子泵使用电场和磁场使气体分子电离。 电离分子被电场加速并与固体目标表面碰撞。 这种碰撞导致分子嵌入表面并产生真空。 该工艺对于去除惰性和反应性气体特别有效。溅射离子泵是精密实验和制造工艺的理想选择,因为它们可以实现 10^-11 Torr 或更低的超高真空,并且没有机械运动部件

【高斯摩】ULVAC爱发科 溅射离子泵 GST-07L-B

【高斯摩】ULVAC爱发科 溅射离子泵 GST-07L-B

溅射离子泵使用电场和磁场使气体分子电离。 电离分子被电场加速并与固体目标表面碰撞。 这种碰撞导致分子嵌入表面并产生真空。 该工艺对于去除惰性和反应性气体特别有效。

溅射离子泵是精密实验和制造工艺的理想选择,因为它们可以实现 10^-11 Torr 或更低的超高真空,并且没有机械运动部件,因此使用寿命长,维护成本低,并且不使用油来提供清洁、无污染的真空环境。 此外,与其他真空泵相比,它具有功耗更低、能效更高等优点。

这是一款带有 CPU 的多功能溅射离子泵控制器。

长处

通过紧凑轻巧

的 CPU 实现多功能。

这个装置可以控制所有溅射离子泵(型号:PST)。

通信设备为标准设备外部

通信控制功能为标准设备,因此可以进行远程控制和自动化作。

兼容 XHV 的

自动启动电路和软启动功能可最大限度地减少泵单元的污染。 (→ 专利号 1340297 正在申请中)

配备安全功能、防止作开关误作

的功能以及用于各种保护的联锁功能。 采用具有优异耐热性和耐寒性和电气性能的 Hyflon 含氟聚合物制成的高压电缆。

符合限制使用某些有害物质(RoHS 指令)。

兼容 CE 标志。

粒子加速器

电子显微镜

分析仪器

规范

组合泵演员泵 (所有型号:PST)
工作压力10-2 到 10-4Pa 或更低
显示范围显示方式数字显示(7 段 LED 显示)
显示什么?
a) 输出电流指示马。 自动切换 2 个 μA 范围(线性显示)
b) 输出电压指示DC0.0~7.5kV (H 或 L) (1 档线性显示)
c) 压力显示Pa, mbr
(1×10
-8~1×10-2Pa)(
1×10
-10~1×10-4mbar 的
输出开路电压DC+7.5kV
(H.L的两点设定可通过面板开关切换,H.L的设定电压约为1.0~7.5kV,音量可变)
输出电流DC31 mA 或更低
输入电压和电流AC100~115V±10% ・ 50/60Hz~3.0A
AC200~240V±10% ・ 50/60Hz~1.5A
MONITOR 引脚输出信号面板 7:输出信号与段显示成正比,各
量程 DC0~10V F.S. 100kΩ 以上
压力设定值2 积分
远程/本地通过前面板开关切换
具有各种输入功能(带 REMOTE 连接器)(
遥控、安装 RS232C 通信控制)

保护特性具有各种保护功能的错误指示/显示 高压
(HV) 输出关闭 (ERR 0~8) 启动保护定时器
设置
(1~255 分钟可变) 停电后自动
恢复(
HV-HOLD 开关作)
使用环境温度范围0~40°C
湿度范围85% 或更低(无冷凝)
附属品输入电缆 3m
质量本体:约 4 公斤
尺寸 宽 x 高 x 深W240×H99×D370mm(不含机架安装支架)
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