【高斯摩】ULVAC爱发科 溅射离子泵 GST-07L-B
【高斯摩】ULVAC爱发科 溅射离子泵 GST-07L-B【高斯摩】ULVAC爱发科 溅射离子泵 GST-07L-B溅射离子泵使用电场和磁场使气体分子电离。 电离分子被电场加速并与固体目标表面碰撞。 这种碰撞导致分子嵌入表面并产生真空。 该工艺对于去除惰性和反应性气体特别有效。溅射离子泵是精密实验和制造工艺的理想选择,因为它们可以实现 10^-11 Torr 或更低的超高真空,并且没有机械运动部件
【高斯摩】ULVAC爱发科 溅射离子泵 GST-07L-B【高斯摩】ULVAC爱发科 溅射离子泵 GST-07L-B溅射离子泵使用电场和磁场使气体分子电离。 电离分子被电场加速并与固体目标表面碰撞。 这种碰撞导致分子嵌入表面并产生真空。 该工艺对于去除惰性和反应性气体特别有效。溅射离子泵是精密实验和制造工艺的理想选择,因为它们可以实现 10^-11 Torr 或更低的超高真空,并且没有机械运动部件
【高斯摩】ULVAC爱发科 溅射离子泵 GST-07L-B
【高斯摩】ULVAC爱发科 溅射离子泵 GST-07L-B
溅射离子泵使用电场和磁场使气体分子电离。 电离分子被电场加速并与固体目标表面碰撞。 这种碰撞导致分子嵌入表面并产生真空。 该工艺对于去除惰性和反应性气体特别有效。
溅射离子泵是精密实验和制造工艺的理想选择,因为它们可以实现 10^-11 Torr 或更低的超高真空,并且没有机械运动部件,因此使用寿命长,维护成本低,并且不使用油来提供清洁、无污染的真空环境。 此外,与其他真空泵相比,它具有功耗更低、能效更高等优点。
这是一款带有 CPU 的多功能溅射离子泵控制器。
长处
通过紧凑轻巧
的 CPU 实现多功能。
这个装置可以控制所有溅射离子泵(型号:PST)。
通信设备为标准设备外部
通信控制功能为标准设备,因此可以进行远程控制和自动化作。
兼容 XHV 的
自动启动电路和软启动功能可最大限度地减少泵单元的污染。 (→ 专利号 1340297 正在申请中)
配备安全功能、防止作开关误作
的功能以及用于各种保护的联锁功能。 采用具有优异耐热性和耐寒性和电气性能的 Hyflon 含氟聚合物制成的高压电缆。
符合限制使用某些有害物质(RoHS 指令)。
兼容 CE 标志。
用
粒子加速器
电子显微镜
分析仪器
| 组合泵 | 演员泵 (所有型号:PST) | |
| 工作压力 | 10-2 到 10-4Pa 或更低 | |
| 显示范围 | 显示方式 | 数字显示(7 段 LED 显示) |
| 显示什么? | ||
| a) 输出电流指示 | 马。 自动切换 2 个 μA 范围(线性显示) | |
| b) 输出电压指示 | DC0.0~7.5kV (H 或 L) (1 档线性显示) | |
| c) 压力显示 | Pa, mbr (1×10-8~1×10-2Pa)( 1×10-10~1×10-4mbar 的 | |
| 输出开路电压 | DC+7.5kV (H.L的两点设定可通过面板开关切换,H.L的设定电压约为1.0~7.5kV,音量可变) | |
| 输出电流 | DC31 mA 或更低 | |
| 输入电压和电流 | AC100~115V±10% ・ 50/60Hz~3.0A AC200~240V±10% ・ 50/60Hz~1.5A | |
| MONITOR 引脚输出信号 | 面板 7:输出信号与段显示成正比,各 量程 DC0~10V F.S. 100kΩ 以上 | |
| 压力设定值 | 2 积分 | |
| 远程/本地 | 通过前面板开关切换 | |
| 具有各种输入功能(带 REMOTE 连接器)( 遥控、安装 RS232C 通信控制) | ||
| 保护特性 | 具有各种保护功能的错误指示/显示 高压 (HV) 输出关闭 (ERR 0~8) 启动保护定时器 设置 (1~255 分钟可变) 停电后自动 恢复( HV-HOLD 开关作) | |
| 使用环境 | 温度范围 | 0~40°C |
| 湿度范围 | 85% 或更低(无冷凝) | |
| 附属品 | 输入电缆 3m | |
| 质量 | 本体:约 4 公斤 | |
| 尺寸 宽 x 高 x 深 | W240×H99×D370mm(不含机架安装支架) | |