【高斯摩】ULVAC爱发科 涡轮分子泵 YTP - 300MB

【高斯摩】ULVAC爱发科 涡轮分子泵 YTP - 300MB

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涡轮分子泵是实现高真空环境的重要设备，广泛用于半导体制造和研究设施。 该泵通过高速移动分子来有效地产生真空。

涡轮分子泵由高速旋转的转子和固定定子组成。 转子的叶片与分子碰撞，使分子加速流向排气口，从而产生真空。 这个过程利用分子的动能并且非常高效。

与其他真空泵相比，涡轮分子泵具有非常高的抽速，可以快速准备真空环境，并且由于不使用油，可以提供清洁的真空环境，非常适合半导体制造等精密工作，并且具有从低真空到超高真空的广泛适用性，并应用于各种行业和研究领域。

这是一种涡轮分子泵，带有一个使用磁浮轴承的独立控制器。 我们拥有排气速度为 300~4000L/s 的型号阵容。 控制器可以监控运行状态并支持各种通信标准。

“型号：YTP Ver.B”是搭载陶瓷滚珠轴承型涡轮分子泵的高真空排气装置。

可以从大气压排气到高真空。

产品阵容包括可通过 START/STOP 开关自动抽真空的 SA 型和可手动作的 M 型。

此外，旋转泵是辅助泵的标准规格，也可以选择干式涡旋泵的干式版本。

长处

根据用途，有多种型号可供选择：

使用旋转泵作为辅助泵的标准规格，以及使用干式涡旋泵的干式规格。

出色的停电对策

前阀标配电磁阀，以防止停电时回流和故障。

可以检查粗加工状态皮拉尼

真空计是标准配置，可以检查粗抽排气过程中的压力。

通过

安装可选的烘烤加热器和脱气处理，可以排气到 UHV 区域。 （* 作为产品规格值）

用

常压至高真空排气系统

用于各种实验和研究设备的排气系统

高纯度气体的真空置换

超高真空设备的粗废气系统

分析仪排气系统