【高斯摩】ULVAC爱发科 低温泵 C30MVR

【高斯摩】ULVAC爱发科 低温泵 C30MVR

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低温泵是一种伸缩式真空泵，旨在实现从高真空到超高真空的条件。 该泵将气体冷凝并吸附安装在内部的低温表面上，并有效地捕获它们。 低温泵的主要特点是可以提供无油污染的清洁真空。

此外，值得注意的是，低温泵尽管使用吸附方式，但与其他真空泵相比，其抽速非常高。 因此，低温泵被广泛用于需要清洁高效真空环境的各个行业和研究部门。

在考虑安装低温泵时，其高性能和提供清洁真空环境的能力是一大优势。

需要运行低温泵。

压缩的氦气被送入冰箱，从冰箱返回的高温氦气被冷却和循环。

校准泄漏传感器

CLM-10A

CLM-08E

CLM-08F

CLC-04A

CLC-05A

CLC-06A

系统搭载用检漏仪

HELIOT ZERO 

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DC电源

大容量DC电源DPG系列   10kw/20kw输出的溅射用DC电源

DPG-10-AM

DPG-10H-AM

DPG-10-4AM

DPG-20-AM

DPG-20H-AM

DPG-20-4AM

规范