【高斯摩】ULVAC爱发科 低温泵 CRYO-U30H

【高斯摩】ULVAC爱发科 低温泵 CRYO-U30H

【高斯摩】ULVAC爱发科 低温泵 CRYO-U30H

低温泵是一种伸缩式真空泵，旨在实现从高真空到超高真空的条件。 该泵将气体冷凝并吸附安装在内部的低温表面上，并有效地捕获它们。 低温泵的主要特点是可以提供无油污染的清洁真空。

此外，值得注意的是，低温泵尽管使用吸附方式，但与其他真空泵相比，其抽速非常高。 因此，低温泵被广泛用于需要清洁高效真空环境的各个行业和研究部门。

在考虑安装低温泵时，其高性能和提供清洁真空环境的能力是一大优势。

长处

非常适合大型薄膜沉积设备。

水的抽速最大。

溅射离子泵PST系列

PST-030CU PST-030AU PST-050CU PST-050AU PST-100CX PST-100AX

PST-110AU PST-200CXII PST-200AXII PST-400CXII PST-400AXII

控制器

GST-07L-B

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油扩散泵

DPF-200

DPF-050

油扩散泵ULK系列ULK-04A ULK-06A ULK-10A ULK-14A

油扩散喷射泵PBL-02 PBL-04 PBL-06 PBL-10 PBL-14 PBL-20

水冷挡板（用于PBL）

BW-02 BW-04B BW-06B BW-10 BW-14 BW-20

水冷挡板（用于 PFL）

BW-22   BW-36   BW-52  

油扩散泵PFL系列PFL-22 PFL-22TM PFL-36 PFL-52 

规范