【高斯摩】ULVAC爱发科 低温泵 CRYO-U22H
【高斯摩】ULVAC爱发科 低温泵 CRYO-U22H【高斯摩】ULVAC爱发科 低温泵 CRYO-U22H低温泵是一种伸缩式真空泵，旨在实现从高真空到超高真空的条件。 该泵将气体冷凝并吸附安装在内部的低温表面上，并有效地捕获它们。 低温泵的主要特点是可以提供无油污染的清洁真空。此外，值得注意的是，低温泵尽管使用吸附方式，但与其他真空泵相比，其抽速非常高。 因此，低温泵被广泛用于需要清洁高效真空环
【高斯摩】ULVAC爱发科 低温泵 CRYO-U22H
【高斯摩】ULVAC爱发科 低温泵 CRYO-U22H
低温泵是一种伸缩式真空泵，旨在实现从高真空到超高真空的条件。 该泵将气体冷凝并吸附安装在内部的低温表面上，并有效地捕获它们。 低温泵的主要特点是可以提供无油污染的清洁真空。
此外，值得注意的是，低温泵尽管使用吸附方式，但与其他真空泵相比，其抽速非常高。 因此，低温泵被广泛用于需要清洁高效真空环境的各个行业和研究部门。
在考虑安装低温泵时，其高性能和提供清洁真空环境的能力是一大优势。
长处
非常适合大型薄膜沉积设备。
水的抽速最大。
复合旋片式涡轮分子泵 陶瓷轴承型
UTM70B UTM300B
集成控制器涡轮分子泵
UTM1200A UTM1600A UTM2300A UTM3400A
VPT-060
数字悬浮型涡轮分子泵
UTM-350FH
UTM-480FH
UTM-800FH
UTM-1001FH
UTM-3303FH
UTM-350FW
UTM-480FW
UTM-800FW
UTM-1001FW
UTM-1400FW
UTM-2300FW
UTM-3303FW
规范
| 抽速 （20°C） | 氮 | L/s | 17,000 |
| 氢 | 25,000 | ||
| 氩 | 14,000 | ||
| 水 | 39,000 | ||
| 极限压力 | 帕（托） | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氩 | Pa・L/s（Torr・L/s） | 4.1×103(31) |
| 排气量 | 氩 | Pa・L （Torr・L） | 8.1×10 元8（6.1×106) |
| 氢 | 8.5×10 元6（6.4×10 元4) | ||
| 冷却下降时间 （电源循环） | 最小（Hz） | 150/135(50/60) | |
| 进气法兰 | UVG-550型 | ||
| 压缩机组 | 分子式 C30VRT×2 | ||
| 质量 | 公斤 | 125.0 | |