【高斯摩】ULVAC爱发科 低温泵 CRYO-U20P

【高斯摩】ULVAC爱发科 低温泵 CRYO-U20P

【高斯摩】ULVAC爱发科 低温泵 CRYO-U20P

低温泵是一种伸缩式真空泵，旨在实现从高真空到超高真空的条件。 该泵将气体冷凝并吸附安装在内部的低温表面上，并有效地捕获它们。 低温泵的主要特点是可以提供无油污染的清洁真空。

此外，值得注意的是，低温泵尽管使用吸附方式，但与其他真空泵相比，其抽速非常高。 因此，低温泵被广泛用于需要清洁高效真空环境的各个行业和研究部门。

在考虑安装低温泵时，其高性能和提供清洁真空环境的能力是一大优势。

长处

最适于大型成膜设备等生产设备。

非常适合大规模批量沉积设备

机械增压泵（罗茨泵）

通用电机式样

PMB100D PMB300D PMB600D PMB1200D PMB2400D

PMB100D-T, PMB300D-T, PMB600D-T, PMB1200D-T, PMB2400D-T

PRC-003A、PRC-006A、

PRC-012A、PRC-018A、 

PRC-003A-X、PRC-006A-X、

PRC-012A-X、PRC-018A-X

PRC-003A-F、PRC-006A-F、

PRC-012A-F、PRC-018A-F

大排气量通用电机式样罗茨泵

PMB-040C PMB-060C

罗茨泵小型MBS-053

罗茨泵用分离式支架

YMV-01A

YMV-03A

YMV-06A

YMV-12A

规范