【高斯摩】ULVAC爱发科 低温泵 CRYO-U8HSP
【高斯摩】ULVAC爱发科 低温泵 CRYO-U8HSP【高斯摩】ULVAC爱发科 低温泵 CRYO-U8HSP低温泵是一种伸缩式真空泵，旨在实现从高真空到超高真空的条件。 该泵将气体冷凝并吸附安装在内部的低温表面上，并有效地捕获它们。 低温泵的主要特点是可以提供无油污染的清洁真空。此外，值得注意的是，低温泵尽管使用吸附方式，但与其他真空泵相比，其抽速非常高。 因此，低温泵被广泛用于需要清洁高效真
【高斯摩】ULVAC爱发科 低温泵 CRYO-U8HSP
【高斯摩】ULVAC爱发科 低温泵 CRYO-U8HSP
低温泵是一种伸缩式真空泵，旨在实现从高真空到超高真空的条件。 该泵将气体冷凝并吸附安装在内部的低温表面上，并有效地捕获它们。 低温泵的主要特点是可以提供无油污染的清洁真空。
此外，值得注意的是，低温泵尽管使用吸附方式，但与其他真空泵相比，其抽速非常高。 因此，低温泵被广泛用于需要清洁高效真空环境的各个行业和研究部门。
在考虑安装低温泵时，其高性能和提供清洁真空环境的能力是一大优势。
长处
非常适合溅射工艺。
氩气的排量约为传统型号 （U8H） 的 2.5 倍。
氢气的抽速约为传统型号 （U8H） 的 1.2 倍。
再生间隔更长，有助于提高设备的运转率。
可进行多次作（最多 3 台）。
隔膜式干式真空泵
DTC-22
DTC-22A
DTC-22B
DTC-22C
DTC-41
DTC-41C
DTC-41D
DTC-41E
DTC-41F
DTC-22K
DTC-60
DTC-41K
DTC-41KC
DTC-41KD
DTC-41KE
DTC-41KF
DTC-120
DTC-120D
DTC-120E
规范
| 抽速 （20°C） | 氮 | L/s | 1,700 |
| 氢 | 3,200 | ||
| 氩 | 1,400 | ||
| 水 | 4,000 | ||
| 极限压力 | 帕（托） | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氩 | Pa・L/s（Torr・L/s） | 1,2×103(8.9) |
| 氢 | 2.4×10%2(1.8) | ||
| 排气量 | 氩 | Pa・L （Torr・L） | 2,5×108（1.9×106) |
| 氢 | 1.0×106（7.8×10）3) | ||
| 冷却下降时间 （电源循环） | 最小（Hz） | 125/115(50/60) | |
| 进气法兰 | UVG-200,6BANSI，UFC-253 | ||
| 压缩机组 | C10T、C10AT | ||
| 质量 | 公斤 | 33.2 | |