【高斯摩】ULVAC爱发科 低温泵 CRYO-U4H

【高斯摩】ULVAC爱发科 低温泵 CRYO-U4H

【高斯摩】ULVAC爱发科 低温泵 CRYO-U4H

低温泵是一种伸缩式真空泵，旨在实现从高真空到超高真空的条件。 该泵将气体冷凝并吸附安装在内部的低温表面上，并有效地捕获它们。 低温泵的主要特点是可以提供无油污染的清洁真空。

此外，值得注意的是，低温泵尽管使用吸附方式，但与其他真空泵相比，其抽速非常高。 因此，低温泵被广泛用于需要清洁高效真空环境的各个行业和研究部门。

在考虑安装低温泵时，其高性能和提供清洁真空环境的能力是一大优势。

长处

它是一种 4 型低温泵，可提供最佳的排气特性。

高抽速有助于提高抽速和生产率。

它特别适用于半导体制造设备和小型设备的溅射工艺。

一台压缩机最多可以运行四个泵。

可根据用途设计制造。

MS120A MS600A MS1200A

LS120A-C

LS120A-L

LS300A-C

LS300A-L

LS600A-C

LS600A-L

LS1200A-C

LS1200A-L

多级罗茨干式真空泵

HR60 HR90 HR300 HR600 HR1200 UR600 UR421-T UR1200 UR1800

UR3601-TT

机械增压泵 PRC-003A PRC-006A PRC-012A

规范