【高斯摩】ULVAC爱发科 冷阴极电离真空计 SC1
【高斯摩】ULVAC爱发科 冷阴极电离真空计 SC1【高斯摩】ULVAC爱发科 冷阴极电离真空计 SC1“Model：G-TRAN” 是一种真空计，基于以下理念开发的：（1） 降低设备成本，（2） 节省空间，（3） 减少配线，以便将各种设备的过程控制集中化和小型化。它由传感器单元和显示单元的基本单元组成，可以根据应用进行组合。长处测量元件与测量电路的集成结构模拟和设定点输出独立的伪对数输出和设定值
【高斯摩】ULVAC爱发科 冷阴极电离真空计 SC1
【高斯摩】ULVAC爱发科 冷阴极电离真空计 SC1
“Model：G-TRAN” 是一种真空计，基于以下理念开发的：（1） 降低设备成本，（2） 节省空间，（3） 减少配线，以便将各种设备的过程控制集中化和小型化。
它由传感器单元和显示单元的基本单元组成，可以根据应用进行组合。
长处
测量元件与测量电路的集成结构
模拟和设定点输出
独立的伪对数输出和设定值输出（显示单位）
48 x 96mm DIN 标准尺寸（显示单元）
用
用于半导体和电子元件等各种制造设备的过程控制
用于各种工业设备（如熔炉）的过程控制
用于对具有许多工艺腔室的各种制造设备进行过程控制，例如在线和单晶圆类型
规范
| 类型 | 传感器单元 | ||
| 型 | SC1 | ||
| 自适应测量元件 | C-21、23、24、25 | ||
| 测量压力范围 | 1.0×10-5 ~ 1.0 帕 | ||
| 测量精度 | +100%， -50%（1.0×10-4 ~ 1.0×10-1） | ||
| 工作温度范围 | 10 ~ 40°C | ||
| 测量值输出 | 非线性输出：DC0V ~ 10V（HV-OFF 时为 10V） | ||
| SETPOINT1/2 调节输出 | 非线性输出：DC0 ~ 10V | ||
| 控制输入信号 | HV 开/关 | ||
| 输出信号 | 集电极开路，负逻辑 | ||
| 控制输出信号 | 放电确认/设定点 1/2 | ||
| LED 指示 | 功率、HV、压力保护、设定点 1/2 | ||
| 权力 | DC24V±2V、150mA | ||
| 输入/输出连接器 | D-sub - 15 针（M2.6 螺丝） | ||
| 体重 | 430g （不包括测量元件） | ||
| 附属品 | 1 个 I/O 连接器 | ||
| 快速手册 1 份 |