【高斯摩】ULVAC爱发科 皮拉尼真空计 SP1
【高斯摩】ULVAC爱发科 皮拉尼真空计 SP1【高斯摩】ULVAC爱发科 皮拉尼真空计 SP1传感器单元 SP1 是一种传感器型皮拉尼真空计，其中集成了测量元件和电路，可节省成本和空间。长处节省成本和空间的传感器类型灯丝材料由铂制成，具有优异的耐腐蚀性。2 个设定点输出，测量元件输出：DC0~5V（非线性输出）电源电压：DC24V 输入用用于半导体和电子元件等各种制造设备的低真空范围内的过程控制
【高斯摩】ULVAC爱发科 皮拉尼真空计 SP1
【高斯摩】ULVAC爱发科 皮拉尼真空计 SP1
传感器单元 SP1 是一种传感器型皮拉尼真空计，其中集成了测量元件和电路，可节省成本和空间。
长处
节省成本和空间的传感器类型
灯丝材料由铂制成，具有优异的耐腐蚀性。
2 个设定点输出，测量元件输出：DC0~5V（非线性输出）
电源电压：DC24V 输入
用
用于半导体和电子元件等各种制造设备的低真空范围内的过程控制
用于窑炉和其他工业设备的低真空范围内的过程控制
用于具有许多工艺腔室的各种制造设备（如在线和单晶片）的低真空范围内的过程控制
| 类型 | 传感器单元 |
| 型 | 第 1 页 |
| 自适应测量元件 | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 |
测量精度 | ±15 %（51 Pa ~760 Pa） |
| ±30 %（10 帕 ~1000 帕） | |
| ±50 %（0.4 帕 ~3000 帕） | |
| 工作温度范围 | 10~40°C |
| 采样时间 | 50ms 5 移动平均线处理 |
测量值输出 | 非线性输出：DC0-5V（最大 10V） |
| （更新时间） 50 ms | |
| （分辨率） 10 mV | |
| 用于设定点 1/2 调整的输出 | 非线性输出：DC 0-5V（最大 10V） |
| 控制输出信号 | 集电极开路，负逻辑 |
| 错误信号 | |
| 设定点 1/2 | |
| LED 指示 | 功率、错误、设定点 1/2 |
| 电源电压 | DC24V±2V， 90mA（最大） |
| 输入/输出连接器 | D-sub-15P（M2.6 螺丝） |
| 体重 | 190g （不包括测量元件） |
附属品 | 1 组 I/O 连接器 |
| 快速手册 （1 份） |