【高斯摩】DIAVAC大亚真空 冷阴极真空计TRC-21-C70（ICF70）

【高斯摩】DIAVAC大亚真空 冷阴极真空计TRC-21-C70（ICF70）

【高斯摩】DIAVAC大亚真空 冷阴极真空计TRC-21-C70（ICF70）

产品概述

【高斯摩】DIAVAC 大亚真空 TRC-21-C70（ICF70）冷阴极真空计，属于 TRC 系列逆磁控管式冷阴极传感器，对比 TRC-21-N25 的 KF 快拆法兰，本款采用 ICF70 金属密封法兰，适配可烘烤、超高真空腔体；无热灯丝结构，不存在灯丝熔断风险，搭载未放电保护机制，压力升高时自动停止放电，保护电极，适合高真空、超高真空洁净工艺的压力监测，可对接仪表与自动化系统实现联锁管控。

核心参数

• 测量方式：逆磁控管冷阴极式

• 测量量程：5.0×10⁻⁷Pa ～ 1Pa

• 测量精度：±30%（氮气基准，23℃）

• 供电：DC15～30V，整机功耗 3W

• 法兰规格：ICF70 金属刀口密封法兰，可烘烤

• 信号输出：0～10V 对数模拟输出、RS485 两线半双工通讯、2 点 NPN 集电极开路设定点输出

• 连接器：9Pin D-SUB

• 耐受压力：最高 200kPa 绝压，可承受短时大气冲击

• 接气材质：SUS316L 不锈钢，低释气

• 防护等级：IP40

• 合规：RoHS、CE

• 配套仪表：DGC-A12、DGC-A31 真空显示控制器

• 使用环境：5～55℃，无凝露

产品特点

1. ICF 刀口金属密封结构，可耐受烘烤除气，适合超高真空、低释气腔体工况。

2. 无灯丝设计，规避灯丝烧断问题，长期连续高真空运行寿命更稳定。

3. 内置未放电保护，大量空气侵入时自动切断高压，防止电极腐蚀损伤。

4. 两点独立压力设定输出，可联动泵、阀门，实现高真空区间自动化联锁。

5. 模拟 + 数字双信号输出，本地显示和上位 PLC 采集都支持。

6. 同系列对照：TRC-21-C70（ICF70 超高真空款）、TRC-21-N25（NW25 快拆款）；另有 TRP 皮拉尼、TRD 振膜、TRI 电离、TRPC 复合真空计。

应用场景

超高真空热处理炉、电弧熔炼炉高真空段、真空镀膜设备、半导体真空工艺、真空脱气装置、科研超高真空腔体、扩散泵系统压力监测。

使用注意事项

1. 避免油汽、粉尘、强腐蚀性气体进入规管，防止电极污染、放电异常。

2. 仅用于高真空区间测量，粗真空段建议搭配皮拉尼真空计。

3. 回大气操作控制速率，减少压力冲击。

4. 需要配套 DGC 系列控制器，单独传感器无法直接读数。