产品概述

核心参数

• 通道数：4 分割四象限元件

• 单象限感光面积：10 × 10 mm

• 窗口材质：石英（无树脂）

• 光谱响应范围：193～1000 nm

• 峰值响应波长：760 nm

• 193nm 典型灵敏度：60 mA/W

• 最大暗电流：20 pA（VR=5V）

• 最大反向电压：20 V

• 工作温度：-40℃ ～ +100℃（无结露）

• 储存温度：-55℃ ～ +125℃

• 冷却方式：非制冷

产品特点

1. 无树脂结构，杜绝真空环境下放气污染，适配光刻机真空腔工况

2. 针对 ArF（193nm）准分子激光优化，长期紫外照射下灵敏度衰减极小，可靠性高

3. 超大单象限感光面，可接收大口径紫外光束，不容易光斑溢出

4. 四个象限光电一致性高、串扰低，可同时采集 X、Y 二维光斑偏移与能量分布

5. 低暗电流，微弱紫外信号也可以稳定检出

6. 电流输出型，配合四路跨阻放大电路，实现光束对准、光斑重心计算

应用场景

使用注意事项

1. 反向偏压不可超过 20V，防止芯片损坏

2. 不含放大器，四路通道均需要独立跨阻放大电路

3. 石英窗口硬度高但易碎，避免磕碰、油污污染

4. 器件静电敏感，装配全程防静电；真空使用前做好除气

5. 和 S5981 对比：S5981 适合近红外，树脂 / 陶瓷封装；S10359 为无放气石英窗口，专门用于 193nm 深紫外光刻激光