【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵SDE120TX

【高斯摩】KASHIYAMA樫山工业 干式螺杆真空泵SDE120TX

产品概述

【高斯摩】KASHIYAMA 樫山工业 SDE120TX 干式螺杆真空泵，SDE 系列小型抗污染强化款干泵，无油干式螺杆结构，TX 版本针对含溶剂、轻微粉尘、易凝气体工况优化，自带控温防凝结构与氮气吹扫接口，风冷式无需冷却水，适配中试、研发小工艺，可搭配真空计、真空控制器成套使用。

核心参数

• 最大抽速：1500L/min

• 极限压力：0.5Pa（无氮气吹扫条件）

• 供电：三相 AC200～220V，50/60Hz

• 运行功耗：2.8kW

• 冷却方式：风冷

• 进气口：NW50

• 排气口：NW40

• 整机长度：930mm

产品特点

1. TX 改良抗污染转子涂层，相比标准版 SDE 机型，对溶剂蒸气、细微粉尘耐受性更好，结晶卡泵风险更低。

2. 风冷结构，省去冷却水配套管路，适合供水条件受限的实验室、中试车间。

3. 可控氮气吹扫接口，用来稀释腐蚀性气体、冲刷转子间隙沉积物，延长连续运行周期。

4. 内置温度、过载、压力多重保护，报警信号可对外输出接入 PLC 做联锁。

5. 系列区分：后缀 X 为标准版；TX 为抗污染强化款；SDE 为小型节能干泵，SD 系列是工业化大抽速重型干泵。

应用场景

半导体小试蚀刻、CVD 薄膜沉积；实验室真空干燥、溶剂脱除；小型反应釜负压工艺；轻度腐蚀化工真空、真空镀膜中试设备。

使用注意事项

1. 进气前端建议配置粉尘捕集、溶剂冷凝回收组件，固体颗粒直接进泵会磨损转子。

2. 存在可凝性气体时，建议开启氮气吹扫，抑制泵腔内部冷凝结晶。

3. 风冷机型四周预留通风散热空间，散热不良会触发高温报警停机。

4. 和 SDE90X 对比：SDE90X 适合洁净、轻度工况；SDE120TX 抽速更大，抗溶剂、耐粉尘性能更强，适合带少量析出物的工艺。