【高斯摩】Motoyama本山 软X射线照射电离器SXN-104V

产品简介

核心规格

• 型号：SXN‑104V

• 设备构成：SXC‑104T 控制单元 ×1，SXH‑10V 照射头 ×4

• 电离方式：软 X 射线照射光电离

• X 射线管电压：10kV 等级

• 整机功耗：50W

• 输入电源：AC100‑240V，50/60Hz 宽电压

• 离子平衡：±0V

• 除电距离：20‑800mm

• 除电性能：±1000V 衰减至 ±100V＜0.8s（单头）

• 单头有效照射半径：180mm，广角 150° 照射角

• 照射头外形：φ42×70mm，单头重量约 350g

• 工作环境：0‑50℃，湿度 35‑85% RH，无凝露

• 通讯接口：RS‑485，可读取累计运行时长

• 报警功能：灯管寿命预警、照射头故障、通讯异常报警输出

• 冷却方式：自然冷却

• 安装：支架螺栓固定，狭小空间可安装

• 产地：日本原装

主要特点

1. 四照射头输出，单台控制器带动 4 个除静电点位，减少控制器数量，节约设备成本与安装空间。

2. 无放电针结构，不产生粉尘颗粒、无臭氧生成，满足 Class1 高洁净车间要求。

3. 无需压缩空气、无需风扇，不存在气流扰动，不干扰晶圆、基板位置精度。

4. 离子平衡稳定 ±0V，正负离子生成均匀，杜绝工件反向充电损伤。

5. 照射头体积小巧轻量化，可安装于设备腔体内部、狭小设备间隙。

6. 可在常压、氮气环境、低真空腔体内完成除静电作业。

7. 电极免清洁免更换维护，灯管寿命到期设备自动报警提示更换。

8. 具备远程监控、报警信号输出，适配自动化产线 PLC 对接，各照射头状态独立监控。

应用领域

1. 半导体行业：多工位晶圆搬运、探针台、镀膜 PVD、刻蚀腔体多点位静电消除。

2. 显示面板：LCD、OLED 玻璃基板多条产线、多工位蒸镀、检测工序除静电。

3. 光学行业：多组光学镜片、光罩、多通道薄膜卷绕工艺静电管控。

4. 精密电子：PCB、柔性材料、元器件组装多条并行高洁净工位。

5. 各类密闭腔体、真空腔体内部四点位同步静电消除场景。