【高斯摩分享】日本 DIC 迪爱生 PF‑03F 化学制剂溶剂用脱气模组技术解析
【高斯摩分享】日本 DIC 迪爱生 PF‑03F 化学制剂溶剂用脱气模组技术解析
【高斯摩分享】日本 DIC 迪爱生 PF‑03F 化学制剂溶剂用脱气模组技术解析
产品概述
PF‑03F 是日本 DIC 迪爱生 SEPAREL 系列全氟耐化学中空纤维脱气模组，专门针对强腐蚀化学制剂、有机溶剂开发，采用内压灌流结构，全部接液部件使用氟树脂材质，无金属接触介质，解决溶剂、酸碱药液内部溶解气体、微气泡带来的工艺缺陷问题，多用于半导体制程、分析仪器、工业喷墨设备管路在线脱气处理，机身小巧，适合成套设备内部集成安装。
型号释义：PF 代表内灌流结构，液体在中空纤维膜丝内部流动；03 代表小流量规格；F 代表全氟接液配置，可兼容各类有机溶剂与强腐蚀性药液。
核心技术参数
处理流量：1‑100mL/min
外形尺寸：φ102mm×180mm
最大液体承压：0.294MPa，建议长期运行压力≤0.25MPa
工作温度：5‑40℃
液体接口：Rc1/4 内螺纹
真空抽气口：Rc1/8 内螺纹
接液材质：PTFE 中空纤维膜、PFA 壳体、FFKM 全氟密封件
脱气效果：可实现 ppb 级残氧，脱气效率高
有效膜面积：0.3‑0.5㎡
功能模式：真空脱气，也可反向实现药液溶气
工作原理
待处理的化学溶剂、药液流入 PTFE 中空纤维膜丝内腔，模组外壳腔体连接真空泵形成负压环境。依靠膜内外气体分压差，液体内部溶解的氧气、氮气、二氧化碳以及微小气泡可以穿透透气膜被真空侧抽出，液体分子无法透过膜层，从而完成脱气除泡。
该模组支持双向使用，壳程抽真空实现脱气；壳程通入工艺气体，还可以向液体内部溶入对应气体。采用内灌流设计，杂质不易附着膜表面，支持反向清洗，恢复膜组件性能。
产品主要优势
1. 全氟无金属接液构造，PTFE、PFA、全氟橡胶组合，耐受强酸、强碱、酮类、酯类、醇类多种有机溶剂，不会被溶剂溶胀腐蚀，也不会析出金属离子、有机杂质污染药液。
2. 内压灌流结构，液体走膜丝内侧，抗污染，可反向冲洗，降低膜组件堵塞风险，延长使用寿命。
3. 小流量精密处理，适配微量药液回路，处理后残氧达到 ppb 级别，消除气泡引发的各类工艺不良。
4. 体积紧凑，圆柱外形，卧式、立式均可安装，便于嵌入设备机柜，无需占用大量空间。
5. 低压损设计，对管路系统压力影响小，可适配小型隔膜泵等低压流体回路。
6. 一机两用，既可以做药液脱气除泡，也可完成液体溶气工艺，拓展设备应用范围。
主要应用场景
1. 半导体行业：光刻胶、显影液、剥离液、蚀刻液在线脱气，规避涂布针孔、斑点缺陷。
2. 工业喷墨：溶剂型墨水脱气，消除喷头堵孔、断墨、色差等故障。
3. 分析仪器：液相色谱流动相、TOC 设备样品预处理，消除气泡造成基线漂移。
4. 精细化工：微量试剂、药液除氧，延缓化学原料氧化变质。
5. 科研实验设备：各类腐蚀性试剂流体脱泡、溶气实验系统配套。
使用注意要点
1. 工作温度不能超过 40℃，高温工况需要选用专用高温型号。
2. 控制液体运行压力，禁止超压，压力过高会存在液体渗透穿过膜丝的风险。
3. 液体入口前端建议配置过滤器，固体颗粒杂质会划伤膜丝，造成模组性能衰减。
4. 介质含有高表面活性剂物料时，需要确认工况条件，防止浸润破坏膜孔。
5. 长期停机时，应排净模组内部残留药液，避免介质静置腐蚀部件。
总结
日本 DIC 迪爱生 PF‑03F 脱气模组依靠全氟耐腐材质与中空纤维真空脱气技术，解决强腐蚀溶剂、化学药液的脱气除泡难题。紧凑机身适配小流量精密工艺，兼顾脱气、溶气双重能力，是半导体、分析仪器、精细化工领域流体处理的关键组件。规范控制压力、温度与前端过滤条件，能够保障整套流体系统长期稳定运行。
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