【高斯摩分享】大型真空机组增压核心｜ULVAC 爱发科 PMB1200D 机械增压泵技术解析

一、引言

大型镀膜设备、热处理炉、冻干设备处于中真空工作区间时，普通前级泵抽速会明显下降，腔体抽气周期被拉长，直接制约设备生产效率。机械增压泵也就是罗茨泵，与前级泵串联组成真空机组，能够大幅提升中真空段抽速，缩短抽气时间。ULVAC 爱发科 PMB1200D 属于 PMB‑D 系列电机直连式机械增压泵，采用法兰直连电机结构，大抽速、空冷运行，适配各类大型工业真空系统，作为量产真空装备的核心增压单元使用。

二、产品概述

PMB1200D 为直连型罗茨机械增压泵，D 代表电机直连紧凑型结构，取消皮带传动结构，省去皮带维护、张力校正等工作。泵腔内部无油润滑，不会出现油蒸汽返流污染真空腔体。该泵不能够直接向大气排气，必须搭配旋片泵、干式泵这类前级泵串联使用。标准配置为空冷散热，选配变频器可实现大气压同步启动，能够和前级泵同步开机，缩短腔体抽气时长；可选 T 型耐腐蚀表面处理，适合抽取溶剂蒸汽、水蒸气工况。

三、工作原理

属于无内压缩容积式罗茨泵，泵腔内部一对 8 字形转子，依靠同步齿轮驱动做反向高速旋转。转子和泵壳、转子之间保持微小间隙，运转过程无接触摩擦。气体从进气口进入转子与泵腔形成的密闭腔室，跟随转子转动输送至排气侧，再由前级泵完成压缩排出。依靠转子容积输送实现大流量抽气，提升 10Pa‑1000Pa 区间系统抽速，缩短大型腔体抽真空时间。齿轮箱和泵腔相互隔离，泵腔内部不添加润滑油，保障被抽气体洁净。

四、核心技术参数

型号：PMB1200D

抽速：50Hz 1000m³/h；60Hz 1200m³/h

极限总压力：6.7×10⁻¹Pa

电机功率：3.7kW，2 极电机，支持多电压规格

冷却方式：标准空冷，可选水冷

允许最大压差：3500Pa（50Hz）

润滑油容量：1.9L，仅齿轮箱润滑，泵腔无油

整机重量：115kg

外形尺寸：417×970×340mm

进气口：ISO100F；排气口：ISO80F

选配：变频器大气压启动、T 耐腐蚀处理、防爆电机

适配前级泵：VS2401 等同规格前级真空泵

五、产品核心技术亮点

1、电机直连结构，降低维护工作量

电机法兰直接连接泵体，无皮带传动，规避皮带老化、打滑、张力调整等维护作业，运行振动更低，整机结构紧凑，适合工业 24 小时连续量产工况。

2、标配空冷，现场部署便捷

标准机型全压力区间支持空冷运行，无需铺设冷却水管道，减少现场管路施工；也可按需升级水冷，适配高温、高负荷持续运转场景。

3、选配变频器实现大气压启动，缩短工艺节拍

加装变频器之后，无需腔体预抽，增压泵和前级泵可以同时启动，有效缩短大型腔体抽气时间，提升设备产能。

4、泵腔无油结构，杜绝油汽污染

齿轮箱与泵腔完全隔离，泵腔内不使用润滑油，不会像真空腔体反流油蒸汽，适配镀膜、冻干等对洁净度有要求的工艺。

5、可选 T 耐腐蚀处理，耐受水汽与有机溶剂

转子、泵腔做特殊阳极氧化耐腐蚀处理，可以耐受水蒸气、醇类、酮类有机溶剂蒸汽，适配真空干燥、脱气工艺，降低腐蚀故障风险。

6、支持选配防爆电机

针对易燃易爆气体工况，可直接选配防爆电机，适配化工、特种热处理的安全使用要求。

六、主要应用领域

1、真空镀膜行业：蒸发镀膜、卷绕镀膜、离子镀、溅射设备，提升大型腔体抽速，缩短工艺周期。

2、热处理与熔炼：真空热处理炉、钎焊炉、熔炼炉，实现中真空大流量排气。

3、冻干与干燥：工业冷冻干燥、大型物料真空干燥、真空脱气装置。

4、氦检漏系统：大型工件氦检设备，充当机组增压单元。

5、化工工艺：溶剂脱气、气体置换，抽取含水汽、有机溶剂的混合气体。

七、现场使用技术要点

1、PMB1200D 不可单独运行，必须配套前级泵；标准机型需要腔体预抽至 200Pa 以下再启动增压泵，只有选配变频器才可大气压直接启动。

2、定期检查齿轮箱油位，使用爱发科指定 ULVOIL R‑4 系列专用齿轮油，不可混用其他油品。

3、泵入口前端建议加装粉尘、冷凝物捕集装置，避免固体颗粒、大量液态溶剂直接进入泵腔，造成转子磨损。

4、控制设备前后压差，不能超过允许最大压差，防止电机过载。

5、抽取大量水汽、有机溶剂工况，优先选用 T 耐腐蚀版本，延长泵本体使用寿命。

八、小结

大型工业真空系统中，抽气速度直接影响设备生产节拍。ULVAC 爱发科 PMB1200D 机械增压泵凭借大抽速直连结构、空冷运行、可选大气压启动、耐腐蚀版本，兼顾产能、洁净度与运维便利性，广泛应用于镀膜、热处理、冻干等大型真空装备，是中真空机组重要的增压核心部件。

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