【高斯摩】日本直供 NOK O型圈 半导体用O型圈全氟弹性体
2026-06-30 15:28:11
admin
2
【高斯摩】日本直供 NOK O型圈 半导体用O形圈半导体用O型圈全氟弹性体
【高斯摩】日本直供 NOK O型圈 半导体用O形圈半导体用O型圈全氟弹性体
一、产品概述
日本原装 NOK 全氟弹性体（FFKM）O 型圈，是半导体高端制程专用密封件。采用高纯全氟醚橡胶制成，耐强腐蚀、耐高温、释气与产尘量极低，可抵御等离子体侵蚀，适配高真空、高洁净工况，能满足半导体设备长期连续运行需求。
二、结构与规格
整体为标准圆形截面，无金属骨架，依靠压缩回弹实现双向密封。表面经过超净处理，无气孔、无毛边、无杂质。遵循 JIS B 2401、AS568 标准，包含 P、G、V 系列，内径 1.8mm-500mm，线径 1.9mm-8.4mm，以内径 × 线径标注尺寸，支持特殊规格定制，可匹配各类标准密封沟槽。
三、材质特性
主体为全氟弹性体 FFKM，配方无额外填料，纯度极高。可耐受强酸、强碱、光刻胶、蚀刻液及各类氟系工艺气体，也能适应等离子体环境，几乎不会出现溶胀、腐蚀现象。连续使用温度区间为 - 20℃至 260℃，短时可承受 320℃高温，热稳定性优异。材料压缩永久变形小，在高压、高真空环境下尺寸稳定，气体渗透率低。
四、基础参数
常规硬度：70、80 邵氏 A 两款主流规格
适用压力：静态密封≤15MPa，动态密封≤5MPa
洁净等级：符合 ISO 14644-1 Class 1 标准
真空适配：可稳定用于 10⁻⁷Pa 高真空环境
动态线速度：建议≤0.5m/s
五、核心特点
耐化学性能顶尖，可应对半导体全品类工艺介质与等离子体，使用寿命远优于普通氟橡胶。
生产全程无尘管控，微粒、有机挥发物、离子析出量极低，不会污染晶圆与制程环境。
宽温域性能稳定，反复热循环后不易硬化、开裂，适配设备高低温交替工况。
密封性能持久，抗挤压形变能力强，减少设备故障与停机维护频次。
原装标准尺寸，通用性强，可直接替换同规格配件。
六、应用场景
等离子刻蚀、薄膜沉积、离子注入等干法工艺腔室与阀门；晶圆清洗、药液输送、光刻制程等湿法设备管路与接头；半导体高真空腔体、气密法兰、特种工艺气体管路；高温热处理、强腐蚀介质输送等高端精密设备密封位置。
七、安装与使用说明
必须在对应等级洁净室内作业，提前清理沟槽与接触面，彻底去除毛刺、粉尘、残留药剂。
佩戴无粉手套操作，禁止徒手接触胶圈，轻拿轻放，切勿拉扯、扭转、刮擦。
如需辅助润滑，仅使用全氟类专用油脂，严禁使用普通润滑油。
安装压缩量控制在 15%-25% 之间，避免挤压过度加速老化。
定期巡检，出现渗漏、硬化、异常产尘时，及时更换同规格产品。