做小芯片切割的朋友，肯定都被“飞芯”逼疯过吧？尤其是切割0.5mm以下的小尺寸芯片，本来芯片就小，

和划片膜的粘合面积又少，再加上切割水要不停冲刷带走硅屑，

稍不注意芯片就被水流冲飞——不仅浪费材料，飞出去的芯片还可能撞坏切割刀，引发二次损失，良率和效率双翻车！

试过降切割水流量？硅屑冲不走会污染芯片；换高粘性UV划片膜？又怕UV光影响芯片工艺。

别愁了！江苏芯德半导体的乔新春团队公开的一项专利，

直接给出了破局方案：就靠切割时多留一点“预留量”，让边缘废芯片不切开，轻松解决飞芯问题，

不用改设备、不用换材料，还不影响有效芯片数量，堪称小芯片切割的“救星”～

一、先搞懂：小芯片为啥总飞芯？传统方案全是坑

先给刚入行的朋友科普下核心痛点：晶圆切割是把整片硅片切成一个个独立芯片，

小芯片（0.5mm以下）因为尺寸太小，和划片膜的粘结力本来就弱。而切割过程中，

必须用切割水冲刷晶圆表面，一方面降温，另一方面带走切割产生的硅屑——这股水流冲击力，

很容易把边缘的非完整芯片（也就是废芯片）冲下来，这就是“飞芯”。

更麻烦的是，现有解决办法全有后遗症，根本没法兼顾：

• 降切割水流量：能减少飞芯，但硅屑冲不净，会残留污染芯片，影响后续封装和芯片性能；

• 换高粘性UV划片膜：粘性够了能防飞芯，但划片后需要UV光照射降低粘性才能取芯，部分对UV光敏感的芯片根本用不了；

• 硬改切割参数：要么切割不彻底，要么损伤有效芯片，良率反而更低。

对做小芯片加工的企业来说，飞芯问题就像“魔咒”，要么接受高损耗，要么牺牲产能，一直没找到两全的办法。

二、核心方案：一招“预留切割”，让边缘废芯片成“防护墙”

其实这套方案的核心思路特别简单：不追求把整片晶圆全切开，而是让边缘的废芯片保持“连在一起”的状态，

靠整体的粘结力抵抗切割水冲击，

从根源上避免飞芯。整个流程和传统切割差不多，关键就多了“设置预留量”这一步，具体分2大步走：

第一步：常规X轴切割，把晶圆切成条状

先给晶圆贴好划片膜，然后让切割刀沿着X轴方向（第一方向）多次切割，

把整片晶圆切成一个个长条状——这一步和传统切割完全一样，不用做任何改动，企业不用重新适应流程。

第二步：Y轴切割留“预留量”，边缘废芯片不切开

重点来了！接下来切割刀沿着和X轴垂直的Y轴方向（第二方向）切割时，要在切割系统里预先设置“预留量”——简单说，

就是切割刀每次切割的距离都缩短一点，不切到晶圆边缘，让边缘的废芯片始终连在一起，形成一个完整的“边框”。

这个“预留量”可不是随便定的，定少了还是会飞芯，定多了会把有效芯片留在边框上，

影响取芯数量。专利里给了精准的计算方法，新手也能直接用：

• 预留量=边缘预设量A + 切割刀切割影响距离B；

• 边缘预设量A：就是切割刀的刀痕离晶圆边缘的距离，保证刀痕不贴边；

• 切割刀切割影响距离B：靠公式计算——B=√[R²-(R-D)²]，其中R是切割刀的刀片半径，D是切割深度。

• 简单说，就是根据你用的刀片和切割深度，算出刀痕会影响的范围，避免因刀痕影响导致废芯片脱落；

  

• 关键限制：预留量必须小于“边缘剩余废芯片数量×单颗芯片边长”。比如边缘还有3颗废芯片，

  每颗边长0.3mm，那预留量就必须小于0.9mm，

• 这样才能保证所有有效芯片都能被完整切开，不影响后续取芯数量。

  

举个直观的例子：传统切割会把Y轴方向的切割线直接切到晶圆边缘，边缘废芯片被切成单个，

一冲就飞；而这套方案的Y轴切割线离边缘有一段预留距离，

废芯片还是连在一起的整体，粘结力足够，再大的水流也冲不飞。

三、核心优势：为啥说这是小芯片切割的“最优解”？

这套方案能解决行业痛点，核心靠3个实打实的优势，每一个都戳中企业的需求：

• 彻底解决飞芯，良率飙升：边缘废芯片连在一起形成整体，粘结力大幅提升，

  不管切割水流量多大，都不会被冲飞，还避免了飞芯撞坏切割刀的次生风险；

• 不用改设备换材料，成本可控：只需要在现有切割系统里设置一下预留量参数，不用新增设备、

  不用更换划片膜，也不用调整切割水流量，中小企业直接就能落地，零额外投入；

• 不影响有效芯片数量，不浪费产能：预留量经过精准计算，只会让废芯片连在一起，

  所有有效芯片都能完整切开，取芯时不会少数量，不会造成产能损失。

四、落地价值：小芯片加工企业的“降本提效神器”

对做小尺寸芯片（0.5mm以下）切割的企业来说，这套方案的实用价值直接拉满：

首先是降损耗：不用再为飞芯浪费芯片和切割刀，废品率大幅降低，直接节省材料和耗材成本；

其次是提效率：不用频繁停机处理飞芯、更换切割刀，生产流程更顺畅，

产能自然提升；最后是适配性强：不管是硅基还是其他材质的小芯片，不管是8英寸还是更大尺寸的晶圆，

都能适用，还能兼容现有所有切割设备，不用做任何工艺调整。

现在小芯片的需求越来越大，切割精度和良率的要求也越来越高。这套“预留切割”方案，不用复杂改造，

就能轻松解决飞芯这个老大难问题，对中小企业来说，

无疑是降本提效、提升市场竞争力的好办法。相信随着这套技术的普及，小芯片切割再也不用受飞芯的困扰了～